第135章 不可能,絕不可能!
第135章 不可能,絕不可能!
李向東和林教授等人,在廠里安排下,搬進了北區一棟相對安靜的紅磚宿舍。
他們臨時占用了實驗樓里的兩間空置房作為工作間。
條件簡陋,但清靜,沒人打擾。
安頓下來後,李向東對林教授說:「林教授,把你們現有的所有圖紙、實驗記錄、數據,包括失敗的,全都拿給我。現在就看。」
「現在?」
林教授有些驚訝迫,但還是立刻去取。很快,厚厚幾摞圖紙和記錄本堆在了桌子上。
工作間裡,除了林教授,還有三四個從齊齊哈爾跟他過來的技術員,他們眼巴巴地看著李向東。
李向東抬頭看了看,沖他們笑笑:「大家都去忙吧,不用都圍著我。我先花點時間,把現在的進度和問題徹底捋一遍。」
幾個人互相看看,便各自去整理自己的材料了。
李向東拉過一把椅子坐下,深吸一口氣,攤開了第一張總裝圖。
他看得很慢,很仔細,不時對照旁邊的工藝流程說明和實驗記錄。
鉛筆、直尺、計算尺擺在一旁,但現在就是用自己的理解,將那些複雜的參數,與腦海中系統提供的方案進行比對和拆解。
他看懂了林教授他們設計的架構核心,也迅速找到了導致工藝不穩定的幾個關鍵瓶頸。
材料純度控制、光刻精度、摻雜均勻性、以及最要命的氧化層生長和質量。
午飯時間,林教授親自從食堂打了飯送來,是兩個窩頭、一點鹹菜和看不到油星的青菜湯。
「向東,先吃飯吧。」
李向東這才從圖紙中抬起頭,揉了揉發澀的眼睛,道了聲謝。
他意識到,林教授雖然是按照之前自己提供的方案在做,但細節方面太籠統,很多細節都想「一步到位」,所以最後的結果不盡人意。
飯後,他找來幾張新的繪圖紙,拿起鉛筆。
他沒有繼續看原來的圖紙,而是開始重新梳理。
(由於緩存原因,請用戶直接瀏覽器訪問 TW 看書網解悶好,🅢🅗🅤.🅣🅦隨時看 網站,觀看最快的章節更新)
他將完整的矽電晶體製造工藝,分解成了十幾個相對獨立的小方案。
單晶製備與切片、晶圓清洗、熱氧化、光刻膠塗覆、顯影、金屬蒸鍍合————
每一個小步驟,他又根據現有條件,設想出一種實現方案。
比如光刻,可以用最簡陋的接觸式曝光,甚至可以考慮用特殊塗料和精密機械雕刻暫代。
再比如擴散爐溫度控制不精確,那就設計多組對比實驗,摸清規律————
不知不覺,窗外天色已暗。
李向東面前已經鋪開了十幾張寫滿方案的草稿。
他放下筆,揉了揉發脹的太陽穴,在腦海中對系統下達了指令:
【提交推演任務:基於現有分解方案,優化矽電晶體分步製備工藝,目標為獲得可演示基本開關功能的簡易原型,優先級為可行性、可展示性。」
【指令確認!自動推演系統啟動,正在處理矽電晶體分步製備工藝優化」任務。】
【當前科技製造」技能等級:Iv6(562/600)。任務複雜度較高,推演預計耗時:
26小時。請等待————】
提交了任務,李向東才感到一陣疲憊襲來,但心裡踏實了些。
他本來以為,集合了專業人才,有了國家支持,事情會順利很多。
現在看來,技術問題固然難,但「人」的問題更難。
觀念的衝突、資歷的傲慢、固化的思維,反而成了更大的絆腳石。
天津六廠遇到卞鶴年這樣的,其他地方恐怕也不少。
接下來的兩天,李向東就住在廠里的宿舍。
趙剛他們很負責,不再全天跟著,而是住在廠外招待所,每天輪流派一個人到廠區門口值班,既履行了職責,也降低了存在感,李向東覺得這樣挺好。
三日後。
天津第六電子廠的廠長梁忠華風塵僕僕地從外地開完會回來。
他五十出頭,身材不高,但很精幹,臉上帶著一抹笑意。
剛進辦公室,副廠長就趕緊過來,把李向東和卞鶴年等人的衝突,一五一十匯報了。
梁忠華聽完,眉頭擰成了疙瘩:「這個老卞!耍脾氣也不看看時候!這矽電晶體項目是部里掛了號的重點,要是完不成任務,我這個廠長第一個挨板子!」
他雖然是廠長,但在卞鶴年這些留過洋的老專家面前,很多時候也得客客氣氣,商量著來,看他們臉色。
這些人有本事,但也確實難伺候。
對於李向東提出的方案,梁忠華是仔細看過論證報告的。
雖然西方最先進的國家也沒公開宣布搞出來,但並不意味著這條路就走不通。
他梁忠華是扛過槍,從戰火里爬出來的,他不太信那些「洋本本」上寫的絕對,他本人是相信奇蹟的。
「李向東同志現在住哪兒?」梁忠華問。
「安排在北區宿舍了,和他們工學院來的人在一起。」副廠長答。
梁忠華放下公文包,水也沒喝一口,徑直就往北區宿舍走去。
來到李向東住的房間門口,見門虛掩著,李向東正伏在桌上寫東西,很專注。
「咚咚。」梁忠華敲了敲門。
李向東抬頭,看到一位穿著灰色中山裝、幹部模樣的人站在門口,愣了一下,隨即站起身。
「是李向東同志吧?我是梁忠華。」梁忠華主動伸出手,臉上露出笑容。
「是梁廠長啊,您好!」李向東連忙握手,請梁忠華進屋,屋裡只有一把椅子,梁忠華也不客氣,坐下了。
「向東同志,一路辛苦了。你到廠里的事,我都聽說了。」梁忠華開門見山,語氣誠懇,「前幾天你跟卞教授他們發生的不愉快,我代表廠里,向你表示歉意。是我們的工作沒做好,讓你受委屈了。」
李向東擺擺手,語氣平靜:「梁廠長,這事跟您,跟廠里沒直接關係。道歉就不必了。這是卞教授他們幾個人的問題,往大了說,也是現在不少科研單位里存在的一種————
風氣問題。」
梁忠華看著他,沒接話,等著下文。
「我知道,卞教授是留洋回來的專家,有貢獻。但貢獻不能成為故步自封,甚至阻礙新思路嘗試的理由。國家花大力氣請他們回來,是希望他們帶來先進知識,帶領我們突破,不是讓他們來當洋菩薩」,供著拜著的。」
李向東說得直接,「現在全國上下都在勒緊褲帶,時間不等人。可你看看有些單位,歸國專家不少,成果呢?開會扯皮、論資排輩、互相瞧不上的時間,恐怕比埋頭苦幹的時間還多。這不是愛國,這是誤國!」
梁忠華默默聽著,手指在膝蓋上輕輕敲著。
李向東這番話,說到了他心坎里,也說出了他很多不敢明說的憋悶。
他點點頭:「是啊,這個問題,不光是咱們六廠,很多地方都有。風氣,難改啊。」
「難改也得有人捅破。」
李向東語氣堅定,他繼續說道:「梁廠長,我正想找您。我跟卞教授打了賭,我們這邊自己搞。但需要用到廠里的一些關鍵設備,比如擴散爐、真空鍍膜機、還有潔淨工作間。希望您能批准,給予方便。」
「設備當然可以用,這是支持項目。」梁忠華立刻表態,隨即話鋒一轉,試圖緩和,「不過向東同志,你看,卞教授那邊,是不是我再出面協調一下?畢竟都是一個廠里的同志,鬧太僵了,以後工作也————」
「梁廠長,」李向東打斷了他,從桌上拿起幾張寫滿字的信紙,「協調就不必了,我不僅不會去協調,我還在寫一份材料,準備把這次來天津六廠的所見所聞,特別是科研隊伍中存在的這種重資歷輕實幹、重洋貨輕自主、內耗嚴重的現象,以及它可能對國家重點科研項目造成的危害,如實向部里反映。」
梁忠華心裡「咯噔」一下,臉色微變。
這年輕人————是要捅破天啊!
他倒吸一口涼氣:「向東同志,這————有必要鬧這麼大嗎?會不會影響咱們廠里的穩定?」
「梁廠長,我反映的是普遍性問題,不針對您個人,也不針對天津六廠這個單位。恰恰相反,如果能引起上級重視,下決心整頓這種風氣,對廠里的長遠發展,都是好事。您剛才不也說,這個問題很多地方都有嗎?那就更需要有人站出來說真話。」
李向東看著梁忠華,一副初生牛犢不怕虎的態度。
梁忠華沉默了。
他看著眼前這個年輕人,想到了「鐵人」王進喜,想到那些在荒原上不要命打井的工人。
他們身上都有一種共性:認準的事,九頭牛拉不回;看到不對的,就敢站出來。
而且現在李向東在國內也是有了一些名氣,他說的話,興許有用。
或許,真需要這樣一把火,燒一燒某些地方的「暮氣」。
良久,梁忠華重重一點頭:「好!向東同志,你有這個膽識,我佩服!設備的事情你放心,我親自給各車間打招呼,全力配合你們的工作!需要什麼,直接找相關負責人,就說我說的!」
「我明白,謝謝梁廠長支持!」李向東有些欣喜。
有了梁忠華的明確支持,接下來的幾天,李向東和林教授團隊的進展快了很多。
李向東將系統推演後細化的分步方案拿出來,與林教授等人逐一研討。
每個步驟都有幾種備選方案,明確指出了關鍵控制點。
他們拿著梁廠長批的條子,穿梭於廠內的單晶車間、清洗間、光刻室、擴散爐、測試間————
李向東負責總協調和關鍵步驟的把關,林教授帶著助手們分頭落實。
他們採用「小步快跑、多點並行」的策略,幾個關鍵工藝試驗同時展開。
失敗了就快速分析原因,調整參數再來。
雖然也經歷了不少失敗,但每一步的進展都看在眼裡。
還摸索出了一套熱氧化生長二氧化矽薄膜的工藝窗口,甚至連最頭疼的光刻掩膜版,也用手工結合簡陋設備,做出了勉強可用的幾套。
這個進展速度,比起林教授來這裡的半年時間都快。
研發科那間大辦公室里,卞鶴年端著搪瓷缸,吹著裡面的茶葉沫,隨意地問了一句正在整理資料的助理:「北邊那幾個,這幾天折騰什麼呢?沒什麼動靜了吧?」
那下屬推了推眼鏡:「聽說天天在幾個車間跑,瞎忙活唄。又是切片子又是烤爐子的,弄得灰頭土臉。要我說,就憑咱們現在的工業底子,想搞定矽電晶體?十年都夠嗆!
純粹是浪費國家資源!」
卞鶴年「嗯」了一聲,嘴角扯出一絲冷笑,慢悠悠喝了口茶:「年輕人,有衝勁是好.
的,但科學不是光靠衝勁,靠的是腦子和技術。」
他話音剛落,辦公室門「砰」一聲被推開。
一個年輕人氣喘吁吁地沖了進來,他指著外面,結結巴巴的。
「卞老,不好了!他們————他們那邊————剛才在測試間,好像————做出矽單晶棒了!
「什麼?」
「矽單晶棒?這怎麼可能!」
「真的,我在實驗室親眼看到的,用了一種懸浮區熔法結合特殊的氣氛控制,他們好像已經切了幾片樣品,準備去做雜質分析了」
辦公室里瞬間炸開了鍋!
幾個老專家全都站了起來,臉上寫滿了不可能!
單晶矽是矽電晶體所有工藝的基礎,材料不行,後面一切免談。
他們之前卡就卡在材料純度不夠均勻、晶體缺陷多,導致後續工藝的穩定性極差。
李向東他們才來幾天?
不僅搞定了單晶爐,還改進了提純工藝,拉出了矽棒?
這簡直像天方夜譚!
卞鶴年手裡端著的搪瓷缸「哐當」一聲掉在桌子上,茶水灑了一攤子。
他質問道:「這不符合邏輯!你真看清楚了?一定是他們用了什麼取巧的法子,或者測量不準!」
「是啊,懸浮區熔法咱們又不是沒試過,對溫度場和氣氛控制要求多苛刻你不知道嗎?稍微有點干擾就全是位錯、條紋!他們哪來的精確控溫設備?哪來的高純保護氣體?」
一連串的問題在他們腦子裡閃過。
卞鶴年當即就拉開門,朝外走去。
「卞老,你去哪?」
「都啥時候,還不過去看看?」
李向東和林教授等人,在廠里安排下,搬進了北區一棟相對安靜的紅磚宿舍。
他們臨時占用了實驗樓里的兩間空置房作為工作間。
條件簡陋,但清靜,沒人打擾。
安頓下來後,李向東對林教授說:「林教授,把你們現有的所有圖紙、實驗記錄、數據,包括失敗的,全都拿給我。現在就看。」
「現在?」
林教授有些驚訝迫,但還是立刻去取。很快,厚厚幾摞圖紙和記錄本堆在了桌子上。
工作間裡,除了林教授,還有三四個從齊齊哈爾跟他過來的技術員,他們眼巴巴地看著李向東。
李向東抬頭看了看,沖他們笑笑:「大家都去忙吧,不用都圍著我。我先花點時間,把現在的進度和問題徹底捋一遍。」
幾個人互相看看,便各自去整理自己的材料了。
李向東拉過一把椅子坐下,深吸一口氣,攤開了第一張總裝圖。
他看得很慢,很仔細,不時對照旁邊的工藝流程說明和實驗記錄。
鉛筆、直尺、計算尺擺在一旁,但現在就是用自己的理解,將那些複雜的參數,與腦海中系統提供的方案進行比對和拆解。
他看懂了林教授他們設計的架構核心,也迅速找到了導致工藝不穩定的幾個關鍵瓶頸。
材料純度控制、光刻精度、摻雜均勻性、以及最要命的氧化層生長和質量。
午飯時間,林教授親自從食堂打了飯送來,是兩個窩頭、一點鹹菜和看不到油星的青菜湯。
「向東,先吃飯吧。」
李向東這才從圖紙中抬起頭,揉了揉發澀的眼睛,道了聲謝。
他意識到,林教授雖然是按照之前自己提供的方案在做,但細節方面太籠統,很多細節都想「一步到位」,所以最後的結果不盡人意。
飯後,他找來幾張新的繪圖紙,拿起鉛筆。
他沒有繼續看原來的圖紙,而是開始重新梳理。
(由於緩存原因,請用戶直接瀏覽器訪問 TW 看書網解悶好,🅢🅗🅤.🅣🅦隨時看 網站,觀看最快的章節更新)
他將完整的矽電晶體製造工藝,分解成了十幾個相對獨立的小方案。
單晶製備與切片、晶圓清洗、熱氧化、光刻膠塗覆、顯影、金屬蒸鍍合————
每一個小步驟,他又根據現有條件,設想出一種實現方案。
比如光刻,可以用最簡陋的接觸式曝光,甚至可以考慮用特殊塗料和精密機械雕刻暫代。
再比如擴散爐溫度控制不精確,那就設計多組對比實驗,摸清規律————
不知不覺,窗外天色已暗。
李向東面前已經鋪開了十幾張寫滿方案的草稿。
他放下筆,揉了揉發脹的太陽穴,在腦海中對系統下達了指令:
【提交推演任務:基於現有分解方案,優化矽電晶體分步製備工藝,目標為獲得可演示基本開關功能的簡易原型,優先級為可行性、可展示性。」
【指令確認!自動推演系統啟動,正在處理矽電晶體分步製備工藝優化」任務。】
【當前科技製造」技能等級:Iv6(562/600)。任務複雜度較高,推演預計耗時:
26小時。請等待————】
提交了任務,李向東才感到一陣疲憊襲來,但心裡踏實了些。
他本來以為,集合了專業人才,有了國家支持,事情會順利很多。
現在看來,技術問題固然難,但「人」的問題更難。
觀念的衝突、資歷的傲慢、固化的思維,反而成了更大的絆腳石。
天津六廠遇到卞鶴年這樣的,其他地方恐怕也不少。
接下來的兩天,李向東就住在廠里的宿舍。
趙剛他們很負責,不再全天跟著,而是住在廠外招待所,每天輪流派一個人到廠區門口值班,既履行了職責,也降低了存在感,李向東覺得這樣挺好。
三日後。
天津第六電子廠的廠長梁忠華風塵僕僕地從外地開完會回來。
他五十出頭,身材不高,但很精幹,臉上帶著一抹笑意。
剛進辦公室,副廠長就趕緊過來,把李向東和卞鶴年等人的衝突,一五一十匯報了。
梁忠華聽完,眉頭擰成了疙瘩:「這個老卞!耍脾氣也不看看時候!這矽電晶體項目是部里掛了號的重點,要是完不成任務,我這個廠長第一個挨板子!」
他雖然是廠長,但在卞鶴年這些留過洋的老專家面前,很多時候也得客客氣氣,商量著來,看他們臉色。
這些人有本事,但也確實難伺候。
對於李向東提出的方案,梁忠華是仔細看過論證報告的。
雖然西方最先進的國家也沒公開宣布搞出來,但並不意味著這條路就走不通。
他梁忠華是扛過槍,從戰火里爬出來的,他不太信那些「洋本本」上寫的絕對,他本人是相信奇蹟的。
「李向東同志現在住哪兒?」梁忠華問。
「安排在北區宿舍了,和他們工學院來的人在一起。」副廠長答。
梁忠華放下公文包,水也沒喝一口,徑直就往北區宿舍走去。
來到李向東住的房間門口,見門虛掩著,李向東正伏在桌上寫東西,很專注。
「咚咚。」梁忠華敲了敲門。
李向東抬頭,看到一位穿著灰色中山裝、幹部模樣的人站在門口,愣了一下,隨即站起身。
「是李向東同志吧?我是梁忠華。」梁忠華主動伸出手,臉上露出笑容。
「是梁廠長啊,您好!」李向東連忙握手,請梁忠華進屋,屋裡只有一把椅子,梁忠華也不客氣,坐下了。
「向東同志,一路辛苦了。你到廠里的事,我都聽說了。」梁忠華開門見山,語氣誠懇,「前幾天你跟卞教授他們發生的不愉快,我代表廠里,向你表示歉意。是我們的工作沒做好,讓你受委屈了。」
李向東擺擺手,語氣平靜:「梁廠長,這事跟您,跟廠里沒直接關係。道歉就不必了。這是卞教授他們幾個人的問題,往大了說,也是現在不少科研單位里存在的一種————
風氣問題。」
梁忠華看著他,沒接話,等著下文。
「我知道,卞教授是留洋回來的專家,有貢獻。但貢獻不能成為故步自封,甚至阻礙新思路嘗試的理由。國家花大力氣請他們回來,是希望他們帶來先進知識,帶領我們突破,不是讓他們來當洋菩薩」,供著拜著的。」
李向東說得直接,「現在全國上下都在勒緊褲帶,時間不等人。可你看看有些單位,歸國專家不少,成果呢?開會扯皮、論資排輩、互相瞧不上的時間,恐怕比埋頭苦幹的時間還多。這不是愛國,這是誤國!」
梁忠華默默聽著,手指在膝蓋上輕輕敲著。
李向東這番話,說到了他心坎里,也說出了他很多不敢明說的憋悶。
他點點頭:「是啊,這個問題,不光是咱們六廠,很多地方都有。風氣,難改啊。」
「難改也得有人捅破。」
李向東語氣堅定,他繼續說道:「梁廠長,我正想找您。我跟卞教授打了賭,我們這邊自己搞。但需要用到廠里的一些關鍵設備,比如擴散爐、真空鍍膜機、還有潔淨工作間。希望您能批准,給予方便。」
「設備當然可以用,這是支持項目。」梁忠華立刻表態,隨即話鋒一轉,試圖緩和,「不過向東同志,你看,卞教授那邊,是不是我再出面協調一下?畢竟都是一個廠里的同志,鬧太僵了,以後工作也————」
「梁廠長,」李向東打斷了他,從桌上拿起幾張寫滿字的信紙,「協調就不必了,我不僅不會去協調,我還在寫一份材料,準備把這次來天津六廠的所見所聞,特別是科研隊伍中存在的這種重資歷輕實幹、重洋貨輕自主、內耗嚴重的現象,以及它可能對國家重點科研項目造成的危害,如實向部里反映。」
梁忠華心裡「咯噔」一下,臉色微變。
這年輕人————是要捅破天啊!
他倒吸一口涼氣:「向東同志,這————有必要鬧這麼大嗎?會不會影響咱們廠里的穩定?」
「梁廠長,我反映的是普遍性問題,不針對您個人,也不針對天津六廠這個單位。恰恰相反,如果能引起上級重視,下決心整頓這種風氣,對廠里的長遠發展,都是好事。您剛才不也說,這個問題很多地方都有嗎?那就更需要有人站出來說真話。」
李向東看著梁忠華,一副初生牛犢不怕虎的態度。
梁忠華沉默了。
他看著眼前這個年輕人,想到了「鐵人」王進喜,想到那些在荒原上不要命打井的工人。
他們身上都有一種共性:認準的事,九頭牛拉不回;看到不對的,就敢站出來。
而且現在李向東在國內也是有了一些名氣,他說的話,興許有用。
或許,真需要這樣一把火,燒一燒某些地方的「暮氣」。
良久,梁忠華重重一點頭:「好!向東同志,你有這個膽識,我佩服!設備的事情你放心,我親自給各車間打招呼,全力配合你們的工作!需要什麼,直接找相關負責人,就說我說的!」
「我明白,謝謝梁廠長支持!」李向東有些欣喜。
有了梁忠華的明確支持,接下來的幾天,李向東和林教授團隊的進展快了很多。
李向東將系統推演後細化的分步方案拿出來,與林教授等人逐一研討。
每個步驟都有幾種備選方案,明確指出了關鍵控制點。
他們拿著梁廠長批的條子,穿梭於廠內的單晶車間、清洗間、光刻室、擴散爐、測試間————
李向東負責總協調和關鍵步驟的把關,林教授帶著助手們分頭落實。
他們採用「小步快跑、多點並行」的策略,幾個關鍵工藝試驗同時展開。
失敗了就快速分析原因,調整參數再來。
雖然也經歷了不少失敗,但每一步的進展都看在眼裡。
還摸索出了一套熱氧化生長二氧化矽薄膜的工藝窗口,甚至連最頭疼的光刻掩膜版,也用手工結合簡陋設備,做出了勉強可用的幾套。
這個進展速度,比起林教授來這裡的半年時間都快。
研發科那間大辦公室里,卞鶴年端著搪瓷缸,吹著裡面的茶葉沫,隨意地問了一句正在整理資料的助理:「北邊那幾個,這幾天折騰什麼呢?沒什麼動靜了吧?」
那下屬推了推眼鏡:「聽說天天在幾個車間跑,瞎忙活唄。又是切片子又是烤爐子的,弄得灰頭土臉。要我說,就憑咱們現在的工業底子,想搞定矽電晶體?十年都夠嗆!
純粹是浪費國家資源!」
卞鶴年「嗯」了一聲,嘴角扯出一絲冷笑,慢悠悠喝了口茶:「年輕人,有衝勁是好.
的,但科學不是光靠衝勁,靠的是腦子和技術。」
他話音剛落,辦公室門「砰」一聲被推開。
一個年輕人氣喘吁吁地沖了進來,他指著外面,結結巴巴的。
「卞老,不好了!他們————他們那邊————剛才在測試間,好像————做出矽單晶棒了!
「什麼?」
「矽單晶棒?這怎麼可能!」
「真的,我在實驗室親眼看到的,用了一種懸浮區熔法結合特殊的氣氛控制,他們好像已經切了幾片樣品,準備去做雜質分析了」
辦公室里瞬間炸開了鍋!
幾個老專家全都站了起來,臉上寫滿了不可能!
單晶矽是矽電晶體所有工藝的基礎,材料不行,後面一切免談。
他們之前卡就卡在材料純度不夠均勻、晶體缺陷多,導致後續工藝的穩定性極差。
李向東他們才來幾天?
不僅搞定了單晶爐,還改進了提純工藝,拉出了矽棒?
這簡直像天方夜譚!
卞鶴年手裡端著的搪瓷缸「哐當」一聲掉在桌子上,茶水灑了一攤子。
他質問道:「這不符合邏輯!你真看清楚了?一定是他們用了什麼取巧的法子,或者測量不準!」
「是啊,懸浮區熔法咱們又不是沒試過,對溫度場和氣氛控制要求多苛刻你不知道嗎?稍微有點干擾就全是位錯、條紋!他們哪來的精確控溫設備?哪來的高純保護氣體?」
一連串的問題在他們腦子裡閃過。
卞鶴年當即就拉開門,朝外走去。
「卞老,你去哪?」
「都啥時候,還不過去看看?」