第218章 接入

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  第252章 接入

  六月二十四日。

  上午。

  無錫。

  華潤微電子無錫廠區。

  五號車間。三號產線。

  這是華潤微選出來的「首批接入產線」。三號產線是華潤微六剴8米MEMS產線中產能最中等、工藝複雜度最高的一條。選這條不是選「最好跟」的。是選「能說明問題」的。

  薇瀾駐場工程師兩人。

  一位是素照。四十三歲。原在中航MEMS做產線工藝二十多年。三月被薇瀾挖過來。現在是薇瀾仿真部署部門高級工程師。

  另一位是鄒心。二十五歲。復旦碩二後加入薇瀾的。今年五月剛轉正。

  一老一年輕。

  他們今天來是部署「全功能模塊組合包」。這是薇瀾提供給聯盟企業的最高級別接入方案。包含產線仿真、自適應糾偏、材料擴展、錯誤診斷、實時反饋五個模塊。

  華潤微這邊駐場接應是張立。周志遠隨同了他。

  周志遠今天主要是看。不是親自上手。這是他第一次看仿真系統部署到聯盟企業產線上。

  部署從上午8點開始。

  素照負責仿真樣本庫與產線現場參數的同步。他使用的是一個台式機終端。連接到三號產線的產線控制計算機。他逐步導入產線上現有設備參數、現有QC參數、現有環境參數。三類輸入。

  鄒心負責導入錯誤診斷與實時反饋模塊。他使用的是一個筆記本。連接到薇瀾仿真雲。他逐步調校閾值、報警級別、重算頻率。

  三個小時後。中午5二時。部署完成。

  素照看了一眼手錶。「起個試一下。」

  張立、周志遠、以及在場三位中階工程師湊過去。

  產線控制計算機上跳出仿真結果面板。三號產線上現有十八道工序。面板上逐道顯示預測偏差。

  第三道工序預測偏差:-0.42。

  第五道工序預測偏差:-0.18。

  第七道工序預測偏差:-0.51。

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  第十二道工序預測偏差:+0.33。

  其他工序預測偏差都在±0.1以內。

  素照看了一眼張立。「你們這條產線,現在良率是多少。」

  張立查了下手機。「上個月平均86.4%。」

  「這項預測說。你們產線上第三、第五、第七、第十二道工序是拉低良率的主要點。」素照說。「其他五道工序變動不大,不是並主問題。」

  張立點點頭。這與他們產線現場的判斷是一致的。但他們現場的判斷是事實出來的。仿真系統是零開始手動不查設備、不部署營位、僅憑輸入參數推出來的。

  「那仿真系統推薦的調整是什麼。」張立問。

  素照點擊下一頁。頁面上是推薦調整參數。逐條。

  第三道工序:推薦控制溫度上加7˚。推薦把備變報警閾值從4ml調到3ml。推薦預計護造偏差下降到0.15。

  第五道工序:推薦上游材料預烘時間加長5分鐘。推薦預計護造偏差下降到0.07。

  第七道工序:推薦調整光刻股偏壓閾值。推薦預計護造偏差下降到0.20。

  第十二道工序:推薦封裝溫度調低。推薦預計護造偏差下降到0.12。

  張立看完。他推了推眼鏡。

  「這些建議在現場設備上是可以調的。但是調下去後良率會出什麼變化。」

  素照點擊仿真。

  五分鐘後。仿真結果出來。

  預測良率:93.6%。

  優良率:86.4%。


  張立看完一下。他看了一眼周志遠。他看了一眼手錶。中午5五時。他發言。

  「現在調。」

  他告訴現場三位中階工程師。接下來三十分鐘調這四道工序的參數。

  不是「看一看」。是「現在調」。

  調完後在下一批晶圓的處理中驗證。

  周志遠看了一眼產線。產線上三號起步。下一批晶圓要過第三道工序了。調整後的參數是在這一批晶圓上驗證的。

  調整是在產線不停止的情況下進行的。

  這是產線仿真系統與傳統仿真軟體不同的地方。傳統仿真軟體要求「停產調產、重啟驗證」。薇瀾仿真系統可以在產線不停止的情況下、現場調、現場驗。

  ……

  下午6點。

  下一批晶圓出來。檢驗。

  這一批良率:93.1%。

  預測是93.6%。偏差0.5個點。這是仿真系統可接受的偏差範圍。

  產線節拍記錄:原節拍113秒一晶圓。調整後99.6秒一晶圓。下降11.8%。

  主要是第三道工序與第七道工序的調整減少了重複檢驗負荷。

  張立是看看這兩份數據。

  他看了一眼周志遠。

  周志遠本來是準備看。則他現在有點被壓住了。他選了另一個產線。五號車間的另一條工藝複雜度高的產線。他用那條產線的上個月數據跑了另一份仿真。

  預測良率拉升:6.8個點。

  預測節拍下降:11.4%。

  與今天三號產線的驗證結果幾乎同一量級。周志遠看完。他收起了手機。

  張立走過來。他明白周志遠剛剛在驗證什麼。

  「周總,這個系統。」他說。「純憑輸入參數跳出的預測與現場調整後的實際驗證偏差在半個百分點以內。。」

  他說這句話時聲音不多。但他眼裡是亮的。

  周志遠看了他一眼。「這是仿真系統。不是象。是。」

  他頓了下。

  「你們現在看到的是產線。你們不久會看到」三號產線後面還能接出那條產線、後面還能接出另一條」。」

  「仿真系統不是「優化某一條產線」的工具。是「人有一套反饋。」

  張立點了點頭。他明白。

  薇瀾產線仿真系統不是一款軟體。是一項能裝進整個MEMS產業鏈里「數據-仿真-調優-反饋」閉環。

  ……

  下午7點。鄒心收拾設備。

  老張老孫都被鄒心送出了車間。仿真系統部署完成。下一步是授權代表。

  走出車間後,張立問了鄒心一個問題。他聽說鄒心今年剛轉正。他想問下薇瀾這邊的情況。

  「小鄒,你們薇瀾現在仿真部署部門多少人。」

  「駐場部署組是二十三個人。還有後台支持、模型運營、樣本庫兩個部門。加起來一百五十個人。」

  「都是今年招的」

  「大多是。」

  張立點點頭。這是他預料中的。薇瀾仿真部署部門三月外還不存在。今年上半年他們招了上百人。

  「你們招人招快。」

  「不是薇瀾招人。。」鄒心說。「周總發出調調那些招。他是技術委員會裡的三位。他招人比薇瀾招人快」

  張立聽出一個信號。薇瀾是個公司。薇瀾背後不只有薇瀾一家公司的人。是薇瀾+中科院+聯盟+所有能被薇瀾動動的人。

  他接著問了一個問題。一個他看起來同為理論部門的人能回答但他不確定能不能問的問題。

  「小鄒,我聽說你們這邊。諾亞、陳宇他們提過一個東西叫「工業雲」。是可以多個廠的產線數據交換。這個東西現在薇瀾有在做嗎。」

  鄒心看了他一眼。他不在那個項目里。但他聽過。

  「工業雲。是。2個月前有人提過一個未來設想。是薇瀾提供仿真服務的同時、各廠匿名後的數據橫向交換。能讓仿真系統收斂更快。能讓聯盟企業看到同類產線「皆是」的偏偏。」

  「在做嗎。」張立問。

  「不在。」鄒心說。「薇瀾。。會議上討論過。但最後被周總推到'下個階段'了。」

  「什麼是下個階段。」

  「首批聯盟企業接入穩定後。路弄估計是他們接入後三個月左右後。會拍重評估。」

  張立點點頭。他看了一眼快走出門的周志遠。他都看這位周總是在推全場。準備仿真、準備原型、準備人、準備下一代架構。現在還準備「工業雲」。

  「他能推得過來嗎。」張立咥了咥說。

  鄒心笑了下。「他能。他似乎不太睚。。」

  兩人一起走出了廠區門口。

  鄒心上了公司車上。張立站在路邊看了一會。

  他拿出手機。給孫堅發了一條消息。

  「孫總,今天部署結束。、預測良率拉升:7.2個點。下一批驗證:93.1%。產線節拍下降:11.8%。」

  「呴。」孫堅六十秒後回。「明天不發報。」

  張立閉上手機。

  他抬頭看了一眼越來越深的樹色。六月的太陽還沒落。陽光打在華潤微廠區主樓上。

  仿真部署今天完成。聯盟核心五家還有4家要部署。後面還有3百多家要通過二次授權接入。

  「工業雲」還是「下個階段」。

  但周志遠能推得過來。

  他是個能推的人。


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