第429章 光刻機危機炸鍋一張底牌逆轉乾坤！ASML總裁親自拍板！
二零零四年十月二十一日，下午四點。
遠望科技，頂層會議室。
氣氛比兩個小時前凝重了十倍。
"林董，情況比我們想的嚴重。"蘇明遠臉色發白，"剛跟中芯國際確認——BIS的審查令下來後，荷蘭政府在美國施壓下收緊了出口管制，ASML的出口許可被凍結了。ASML那邊說他們想發，但荷蘭法律不允許，連已經付款的配件都發不出來。"
"中芯的國產線上有三台DUV光刻機是關鍵產能，如果配件斷供，最多兩個月——"
他咽了口唾沫：
"產能就得腰斬。"
會議室里一片死寂
兩個月。
產能腰斬。
這意味著什麼，所有人都清楚。
中低端FPGA訂單正在暴漲，華為加了百分之五十，其他客戶蜂擁而至。如果這時候產能掉下來——
別說高端項目了，連眼前的訂單都交付不了。
"張汝京怎麼說？"林遠沉聲問。
"張總說，他在想辦法聯繫上海微電子，看看能不能用國產配件頂一下。"蘇明遠苦笑，"但上海微電子的步進式光刻機，工藝節點差了兩代，精度根本不夠。"
王景輝皺著眉頭："國產線不是號稱純國產嗎？怎麼還在用ASML的設備？"
"王老師，純國產是相對的。"陳偉東解釋道，"中芯的國產線，核心設備基本國產化了，但光刻機這種東西——"
他搖了搖頭：
"目前全球能做高端光刻機的，只有ASML一家。上海微電子做的是低端的，還遠不夠用。"
王景輝不說話了。
光刻機。
這是整個中國半導體行業最大的痛。
沒有之一。
"林董，"蘇明遠看向林遠，聲音有些發緊，"要不要……跟台積電那邊談談？實在不行，中低端先從台積電走一部分？"
林遠還沒說話，周明哲先搖頭了："不行。BIS剛出制裁令，台積電這時候敢給我們代工，等於直接跟美國對著幹。而且荷蘭政府也跟著收緊了ASML的出口管制——這次是兩邊都在卡我們。"
會議室里又沉默了。
所有人都看向林遠。
這個局能解嗎？
林遠坐在主位上，手指輕輕敲著桌面，眼神深邃。
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過了幾秒，他忽然開口了：
"ASML想幫忙，但他們需要一個理由——一個能跟BIS和美國政府交涉的理由。"
所有人一愣。
"什麼理由？"蘇明遠脫口而出。
林遠站起身，走到白板前，寫下四個字：
EDA技術。
"ASML的光刻機，不只是硬體。"他緩緩道，"光刻環節的物理驗證、OPC光學鄰近校正、掩模製備——這些軟體工具，直接決定了光刻機的使用效率和良率。"
"我們之前已經跟ASML建立了EDA合作基礎，但現在的合作深度還不夠。"
他轉過身，目光掃過全場：
"如果我們願意把合作升級到核心模塊——物理驗證和OPC的深度授權，ASML就有了跟荷蘭政府談的籌碼——這不是'幫中國繞過制裁'，而是'中歐技術互利合作'的典範。"
王景輝眼睛一亮："用EDA技術讓ASML去爭取荷蘭政府的出口許可豁免？"
"不止豁免。"林遠笑了笑，"還可以談——長期合作。"
蘇明遠腦子轉得飛快："可是林董，ASML是荷蘭公司，荷蘭政府不怕美國壓力嗎？"
"怕，當然怕。"林遠點頭，"但ASML更清楚——沒有中國這個市場，他們的日子也不好過。而且荷蘭不是美國，ASML跟中國合作，荷蘭政府不一定攔得住。"
"關鍵是我們得給ASML一個足夠重的理由——讓他們值得去跟荷蘭政府掰這個手腕。"
"而且——"他頓了頓，"ASML的人想跟我當面談。說明他們有誠意，只是在等我們的籌碼。"
他拿起桌上的電話，撥了一個國際長途。
幾秒後，電話接通了。
"克勞斯教授，是我，林遠。"
林遠的聲音平靜而沉穩，用流利的德語說道：
"有件事想請您幫忙。ASML那邊，您之前提到的技術合作——"
"我覺得，可以往前推進一步了。"
六個小時後。
荷蘭埃因霍溫。ASML總部。
晚上十點，技術合作部的會議室里還亮著燈。
"教授，您的意思是——"ASML的技術副總裁范德梅爾盯著克勞斯教授，眼裡帶著難以置信，"遠望願意把合作從基礎模塊升級到核心OPC和物理驗證的深度授權？"
"是的。"克勞斯教授慢條斯理地喝了口咖啡，"但有個條件。"
"什麼條件？"
"恢復對中芯國際的DUV光刻機配件供應。"
范德梅爾沉默了。
恢復中芯的供應？
荷蘭政府剛在美國壓力下凍結了ASML的出口許可，這時候硬頂——等於公然違反荷蘭出口管制法。
"教授，您知道這意味著什麼。"范德梅爾苦笑，"我們當然願意恢復供貨——中芯是我們的大客戶，斷供對我們也沒好處。但荷蘭政府在美國壓力下設的出口管制令在那兒擺著，我們法務部已經評估過了，硬頂等於直接違反荷蘭出口管制法。"
他頓了頓："除非……ASML能獲得一個足夠有分量的技術合作升級理由，讓荷蘭政府出面幫我們爭取出口許可豁免。否則我們想發，也發不出來。"
"范德梅爾先生。"克勞斯教授放下咖啡杯，眼神變得銳利，"我問你一個問題。"
"你們現在OPC的核心方案，用的是誰的？"
范德梅爾愣了一下："A公司的EDA部門。"
"多少錢一年？"
"……三億歐元。"
"效果呢？"
范德梅爾不說話了。
效果怎麼樣，他心裡清楚。
貴而且不好用。定製化低，每次調整都要排隊等好幾個月。跟遠望現有的基礎合作相比，A公司的方案性價比差了一大截。
"遠望的技術我看過。"克勞斯教授緩緩道，"65納米節點上，他們的OPC精度和速度至少比A公司高百分之三十。如果升級到核心授權——直接整合進你們的光刻工作流。"
"價格呢？"范德梅爾立刻問。
"一年五千萬歐元。"克勞斯教授伸出五根手指，"還可以派團隊聯合開發浸沒式光刻的OPC方案。"
范德梅爾的呼吸瞬間急促了。
五千萬歐元。
比A公司便宜六倍。
還能聯合開發浸沒式方案——這可是下一代技術！
"教授，您等一下。"范德梅爾站起身，"我需要向總裁匯報。"
他快步走出會議室。十分鐘後，范德梅爾回來了，臉上帶著壓抑不住的興奮。
"教授——"他的聲音都在抖，"總裁親自拍板了。"
"合作可以談。中芯國際的配件供應——"
他頓了頓，嘴角勾起一抹笑意：
"技術合作協議簽署當天，全面恢復。"
"但是——"他話鋒一轉，"有個條件。"
克勞斯教授挑了挑眉："什麼條件？"
"總裁希望，能跟林遠先生——"
"當面談。"
北京時間，十月二十二日凌晨兩點。
遠望科技總部仍然燈火通明。
林遠站在落地窗前，聽著克勞斯教授從荷蘭打來的越洋電話。
掛了電話，他轉過身。會議室里，蘇明遠、王景輝、陳偉東等人都在等他，臉上寫滿緊張和期待。
林遠看著他們，嘴角緩緩勾起。
"成了。"
兩個字。
簡簡單單的兩個字。
卻像一顆巨石投入平靜的湖面，在會議室里炸開了。
"真的？！"蘇明遠聲音都變了。
"ASML總裁親自拍板——技術合作協議一簽，中芯的DUV配件供應，全面恢復。"林遠緩緩道。
"我的天……"王景輝喃喃道，"這就……解決了？"
他本來以為，光刻機這種級別的卡脖子問題，怎麼也得折騰幾個月。
結果——
一個電話一個晚上就搞定了？
"別高興得太早。"林遠擺了擺手，"還有個條件。"
"什麼條件？"眾人齊聲問。
"ASML總裁希望，跟我當面談。"林遠道，"地點在——埃因霍溫。"
蘇明遠眼睛一亮："這是好事啊！當面談，能談得更深入！"
"是好事，但也有風險。"陳偉東皺起眉頭，"BIS剛出制裁令，林董這時候去荷蘭——萬一美國那邊有什麼動作……"
會議室里的氣氛又凝重了幾分。
"風險肯定有。"林遠淡淡道，"但這個險，值得冒。"
"ASML想恢復供貨，但缺一個跟荷蘭政府交涉的籌碼。我去荷蘭，就是把這張牌拍在他們面前——EDA核心模塊的深度授權，加上浸沒式光刻聯合開發。這個分量，足夠讓荷蘭政府替ASML出面。"
"而且——"他笑了笑，"我去談的是深化EDA技術合作，不是光刻機買賣。談完之後，ASML拿著升級後的合作協議去跟荷蘭政府申請出口許可豁免，一切走合法渠道。"
他環視全場，聲音沉穩有力：
"明天，我飛荷蘭。"
"蘇明遠，國內的事你盯著。龍騰項目，王老師和陳所長多費心。"
"另外——"他頓了頓，"上海微電子那邊，也得開始接觸了。"
"雞蛋，不能放在一個籃子裡。"
眾人重重點頭。
就在這時——
林遠的手機又響了。
他看了一眼來電顯示，眉頭微微一皺。
屏幕上沒有號碼，只有一行字——
加密線路·華盛頓。
遠望科技，頂層會議室。
氣氛比兩個小時前凝重了十倍。
"林董，情況比我們想的嚴重。"蘇明遠臉色發白，"剛跟中芯國際確認——BIS的審查令下來後，荷蘭政府在美國施壓下收緊了出口管制，ASML的出口許可被凍結了。ASML那邊說他們想發，但荷蘭法律不允許，連已經付款的配件都發不出來。"
"中芯的國產線上有三台DUV光刻機是關鍵產能，如果配件斷供，最多兩個月——"
他咽了口唾沫：
"產能就得腰斬。"
會議室里一片死寂
兩個月。
產能腰斬。
這意味著什麼，所有人都清楚。
中低端FPGA訂單正在暴漲，華為加了百分之五十，其他客戶蜂擁而至。如果這時候產能掉下來——
別說高端項目了，連眼前的訂單都交付不了。
"張汝京怎麼說？"林遠沉聲問。
"張總說，他在想辦法聯繫上海微電子，看看能不能用國產配件頂一下。"蘇明遠苦笑，"但上海微電子的步進式光刻機，工藝節點差了兩代，精度根本不夠。"
王景輝皺著眉頭："國產線不是號稱純國產嗎？怎麼還在用ASML的設備？"
"王老師，純國產是相對的。"陳偉東解釋道，"中芯的國產線，核心設備基本國產化了，但光刻機這種東西——"
他搖了搖頭：
"目前全球能做高端光刻機的，只有ASML一家。上海微電子做的是低端的，還遠不夠用。"
王景輝不說話了。
光刻機。
這是整個中國半導體行業最大的痛。
沒有之一。
"林董，"蘇明遠看向林遠，聲音有些發緊，"要不要……跟台積電那邊談談？實在不行，中低端先從台積電走一部分？"
林遠還沒說話，周明哲先搖頭了："不行。BIS剛出制裁令，台積電這時候敢給我們代工，等於直接跟美國對著幹。而且荷蘭政府也跟著收緊了ASML的出口管制——這次是兩邊都在卡我們。"
會議室里又沉默了。
所有人都看向林遠。
這個局能解嗎？
林遠坐在主位上，手指輕輕敲著桌面，眼神深邃。
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過了幾秒，他忽然開口了：
"ASML想幫忙，但他們需要一個理由——一個能跟BIS和美國政府交涉的理由。"
所有人一愣。
"什麼理由？"蘇明遠脫口而出。
林遠站起身，走到白板前，寫下四個字：
EDA技術。
"ASML的光刻機，不只是硬體。"他緩緩道，"光刻環節的物理驗證、OPC光學鄰近校正、掩模製備——這些軟體工具，直接決定了光刻機的使用效率和良率。"
"我們之前已經跟ASML建立了EDA合作基礎，但現在的合作深度還不夠。"
他轉過身，目光掃過全場：
"如果我們願意把合作升級到核心模塊——物理驗證和OPC的深度授權，ASML就有了跟荷蘭政府談的籌碼——這不是'幫中國繞過制裁'，而是'中歐技術互利合作'的典範。"
王景輝眼睛一亮："用EDA技術讓ASML去爭取荷蘭政府的出口許可豁免？"
"不止豁免。"林遠笑了笑，"還可以談——長期合作。"
蘇明遠腦子轉得飛快："可是林董，ASML是荷蘭公司，荷蘭政府不怕美國壓力嗎？"
"怕，當然怕。"林遠點頭，"但ASML更清楚——沒有中國這個市場，他們的日子也不好過。而且荷蘭不是美國，ASML跟中國合作，荷蘭政府不一定攔得住。"
"關鍵是我們得給ASML一個足夠重的理由——讓他們值得去跟荷蘭政府掰這個手腕。"
"而且——"他頓了頓，"ASML的人想跟我當面談。說明他們有誠意，只是在等我們的籌碼。"
他拿起桌上的電話，撥了一個國際長途。
幾秒後，電話接通了。
"克勞斯教授，是我，林遠。"
林遠的聲音平靜而沉穩，用流利的德語說道：
"有件事想請您幫忙。ASML那邊，您之前提到的技術合作——"
"我覺得，可以往前推進一步了。"
六個小時後。
荷蘭埃因霍溫。ASML總部。
晚上十點，技術合作部的會議室里還亮著燈。
"教授，您的意思是——"ASML的技術副總裁范德梅爾盯著克勞斯教授，眼裡帶著難以置信，"遠望願意把合作從基礎模塊升級到核心OPC和物理驗證的深度授權？"
"是的。"克勞斯教授慢條斯理地喝了口咖啡，"但有個條件。"
"什麼條件？"
"恢復對中芯國際的DUV光刻機配件供應。"
范德梅爾沉默了。
恢復中芯的供應？
荷蘭政府剛在美國壓力下凍結了ASML的出口許可，這時候硬頂——等於公然違反荷蘭出口管制法。
"教授，您知道這意味著什麼。"范德梅爾苦笑，"我們當然願意恢復供貨——中芯是我們的大客戶，斷供對我們也沒好處。但荷蘭政府在美國壓力下設的出口管制令在那兒擺著，我們法務部已經評估過了，硬頂等於直接違反荷蘭出口管制法。"
他頓了頓："除非……ASML能獲得一個足夠有分量的技術合作升級理由，讓荷蘭政府出面幫我們爭取出口許可豁免。否則我們想發，也發不出來。"
"范德梅爾先生。"克勞斯教授放下咖啡杯，眼神變得銳利，"我問你一個問題。"
"你們現在OPC的核心方案，用的是誰的？"
范德梅爾愣了一下："A公司的EDA部門。"
"多少錢一年？"
"……三億歐元。"
"效果呢？"
范德梅爾不說話了。
效果怎麼樣，他心裡清楚。
貴而且不好用。定製化低，每次調整都要排隊等好幾個月。跟遠望現有的基礎合作相比，A公司的方案性價比差了一大截。
"遠望的技術我看過。"克勞斯教授緩緩道，"65納米節點上，他們的OPC精度和速度至少比A公司高百分之三十。如果升級到核心授權——直接整合進你們的光刻工作流。"
"價格呢？"范德梅爾立刻問。
"一年五千萬歐元。"克勞斯教授伸出五根手指，"還可以派團隊聯合開發浸沒式光刻的OPC方案。"
范德梅爾的呼吸瞬間急促了。
五千萬歐元。
比A公司便宜六倍。
還能聯合開發浸沒式方案——這可是下一代技術！
"教授，您等一下。"范德梅爾站起身，"我需要向總裁匯報。"
他快步走出會議室。十分鐘後，范德梅爾回來了，臉上帶著壓抑不住的興奮。
"教授——"他的聲音都在抖，"總裁親自拍板了。"
"合作可以談。中芯國際的配件供應——"
他頓了頓，嘴角勾起一抹笑意：
"技術合作協議簽署當天，全面恢復。"
"但是——"他話鋒一轉，"有個條件。"
克勞斯教授挑了挑眉："什麼條件？"
"總裁希望，能跟林遠先生——"
"當面談。"
北京時間，十月二十二日凌晨兩點。
遠望科技總部仍然燈火通明。
林遠站在落地窗前，聽著克勞斯教授從荷蘭打來的越洋電話。
掛了電話，他轉過身。會議室里，蘇明遠、王景輝、陳偉東等人都在等他，臉上寫滿緊張和期待。
林遠看著他們，嘴角緩緩勾起。
"成了。"
兩個字。
簡簡單單的兩個字。
卻像一顆巨石投入平靜的湖面，在會議室里炸開了。
"真的？！"蘇明遠聲音都變了。
"ASML總裁親自拍板——技術合作協議一簽，中芯的DUV配件供應，全面恢復。"林遠緩緩道。
"我的天……"王景輝喃喃道，"這就……解決了？"
他本來以為，光刻機這種級別的卡脖子問題，怎麼也得折騰幾個月。
結果——
一個電話一個晚上就搞定了？
"別高興得太早。"林遠擺了擺手，"還有個條件。"
"什麼條件？"眾人齊聲問。
"ASML總裁希望，跟我當面談。"林遠道，"地點在——埃因霍溫。"
蘇明遠眼睛一亮："這是好事啊！當面談，能談得更深入！"
"是好事，但也有風險。"陳偉東皺起眉頭，"BIS剛出制裁令，林董這時候去荷蘭——萬一美國那邊有什麼動作……"
會議室里的氣氛又凝重了幾分。
"風險肯定有。"林遠淡淡道，"但這個險，值得冒。"
"ASML想恢復供貨，但缺一個跟荷蘭政府交涉的籌碼。我去荷蘭，就是把這張牌拍在他們面前——EDA核心模塊的深度授權，加上浸沒式光刻聯合開發。這個分量，足夠讓荷蘭政府替ASML出面。"
"而且——"他笑了笑，"我去談的是深化EDA技術合作，不是光刻機買賣。談完之後，ASML拿著升級後的合作協議去跟荷蘭政府申請出口許可豁免，一切走合法渠道。"
他環視全場，聲音沉穩有力：
"明天，我飛荷蘭。"
"蘇明遠，國內的事你盯著。龍騰項目，王老師和陳所長多費心。"
"另外——"他頓了頓，"上海微電子那邊，也得開始接觸了。"
"雞蛋，不能放在一個籃子裡。"
眾人重重點頭。
就在這時——
林遠的手機又響了。
他看了一眼來電顯示，眉頭微微一皺。
屏幕上沒有號碼，只有一行字——
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