第696章 80%的良頻率
對於這個問題李家輝仔細計算了一下,首先是邊緣區域的溫度梯度有沒有重新校準。
但很可惜,這些方案袁國慶已經做過了?
而且每4小時標定一次。
現在的問題就是四次曝光的總工時太長,單晶圓在腔體內停留的時間比設計值多了一倍。
最後一道刻蝕時,光刻膠的熱縮已經完全不對稱。
面對這個答案,李家輝也有點懵,你這個問題還真有點複雜。
他一個人靜靜的站在那裡,雖然什麼都沒說,但他已經進入了頭腦風暴時刻……
很快,他靈光一閃。
「把最後一道刻蝕的勻膠轉速提高15%,曝光前的冷卻板溫度下調0.5度,所有邊緣都用補充曝光再曝光一次,補第二次。」
當這個最新的方案出來的那一刻,在場的工程師全都點了點頭,這倒是個好方案。
但是選擇這個方案會有新的問題,那就是加工時間會增加。
但最後李家輝和袁國慶對視一眼,都決定先增加產能,再提高速度。
李家輝布置完畢,和袁國慶一起進入了數據分析室。
設計團隊、光刻團隊、測試團隊已經圍在了一起。
經過三個小時的討論,三方達成了共識,目前這就是最好的方案。
就在這時,一個工程師拿著平板著急地跑了過來:「李總,最新的補償曝光實驗已經跑完了。
整體良品率預估能到80%」
李家輝接過平板仔細看了幾個分布圖,看來現實和理論終究是有點差距。
根據現在的方案,可以提高,但想要達到90%甚至更高的良品率,還有一定的問題。
幾個工程師立刻開始調數據,尋找新的方向。
但就在這時,袁國慶的手機響了,他接了電話應了兩聲,然後便捂著話筒對李家輝說:
「沈總辦公室來電話了,問今天能不能把良品率數據同步過去?」
看著80%的良品率,李家輝點了點頭:「老袁,能跑的這個數據已經很好了,給沈總送過去。」
80%的良品率是很高,但是對傳音來說,這還不夠。
說完他們又把平板里的數據導了出來,走到一個工位下,對著屏幕上密密麻麻的缺陷標記點一個接一個地放大檢查。
「這幾個不是隨機缺陷,是系統性的。
在曝光邊緣的同一位置,像是對準標記被局部遮擋了。」
旁邊的工藝工程師也湊過來看,忽然他有了一個大膽的想法。
「袁廠長,會不會是光照上的污染物?
【記住本站域名 追書認準 TW 看書網,𝒔𝒉𝒖.𝒕𝒘超方便 】
第三層模板製造完成後,在存儲過程中可能吸附了有機顆粒。」
這一句話瞬間讓眾人醍醐灌頂,袁國慶更是著急地說:「你馬上去掩膜庫,調第三層的存儲記錄。
從昨天晚上到現在,溫度和濕度的記錄一條都不能少。」
那個人應了一聲小跑著出去,會去的,眾人也放下了懸著的心。
希望這是個方向。
…………
一個小時後問題被找到了。
就是第三層,在凌晨更換掩膜盒的時候,淨化氦氣的濕度超標了4分鐘,有機顆粒吸附在了邊緣區域,形成了一個肉眼不可見,但足以干擾對準信號的微污染帶。
袁國慶看了一下報告,用力地拍了一下桌面。
本來以為是技術問題,結果是人員操作方面的問題。
這群小兔崽子又鬆懈了。
「以後再更換的時候,清潔後重新驗證。
所有的門塊雙人覆核,溫度,濕度超標,10分鐘以後直接報廢。
如果連續多次犯錯,整個部門的年終獎降一級。」
聽到這話,主管負責人立刻低下了頭,他向領導表示會加強管理。
畢竟這次的影響實在是太惡劣了。
安排完之後,袁國慶又給老闆匯報了一下消息:
「老闆,問題找到了,明天上午應該能上80,一個月內上85%。」
…………
與此同時,非洲,盧本巴希,上加丹加省。
3號銅鈷礦區建立在一條裸露的紅土帶上,占地2400多畝。
選礦區堆料廠,維修車間和自動化控制中心都沿著山脊層層排布。
凌晨3點,整個礦區依舊在忙碌著,只不過這一次並不是忙著生產,而是忙著拆卸。
為了加快進度,船營安保甚至抽出了兩個快拆編隊。第一隊負責切斷外部供電,第二隊帶著雷射切割機和液壓破拆設備,直接奔向了核心設備區。
他們的領隊是劉鐵柱,40多歲,曾經在某集團幹了18年。
他可是拆過不少好東西,像是南海的一些小房子,也在崑崙山上安過一些小設備。
現在他指揮著37個兄弟,在三十多度的悶熱環境裡用15分鐘拆掉了第一台雷射選礦機的控制模塊兒。
「注意標記,所有接頭用防靜電帶包好。
模組裝三層防震箱,外面再套一個恆溫貨櫃,明天中午前必須要送到洛比托港。」
兩個小時後,礦區的變壓器被斷開了。
六台大型柴油發電機組被拆走,電纜盤收上重卡,液壓支架按編號裝進加長平板車。
就連採礦區的挖掘機和裝載機也都沒有留下,所有設備全部封存。
就在天亮的時候,從盧本巴希方向開來了兩輛皮卡,帶著四十幾個穿軍裝的本地人,一個個拿著步槍堵在了礦區的南門口。
劉鐵柱從對講機里聽到消息,還在那裡嚼著壓縮餅乾墊肚子。
本來心情就不太好,現在還有人撞槍口,他直接下達了命令:「這是咱們的私有財產。既然他們來了,那就別放過。
先打3槍,如果他們不識趣的話,那就往他們輪胎邊打。
我就不信這群軟腳蝦,還敢迎著來。」
對講機里很快就傳來了清脆的槍聲……
「老大,他們撤了」
中午,從尚比亞恩多拉方向趕來的第三編隊也到了。
他們帶著移動吊車和低板拖車,開始拆自動化分揀線。
礦區的水泥地基上留下了一排排螺栓孔,證明著這裡曾經有著世界上比較先進的自動化產線。
沈飛回國的路上收到了黃天涯發來的戰報:
「目前我國的礦區已經全部拆解完畢。
目前73%的核心設備已完成離礦轉接,三個港口已經開始排隊裝船,最遲7天完成海上回運。」
但很可惜,這些方案袁國慶已經做過了?
而且每4小時標定一次。
現在的問題就是四次曝光的總工時太長,單晶圓在腔體內停留的時間比設計值多了一倍。
最後一道刻蝕時,光刻膠的熱縮已經完全不對稱。
面對這個答案,李家輝也有點懵,你這個問題還真有點複雜。
他一個人靜靜的站在那裡,雖然什麼都沒說,但他已經進入了頭腦風暴時刻……
很快,他靈光一閃。
「把最後一道刻蝕的勻膠轉速提高15%,曝光前的冷卻板溫度下調0.5度,所有邊緣都用補充曝光再曝光一次,補第二次。」
當這個最新的方案出來的那一刻,在場的工程師全都點了點頭,這倒是個好方案。
但是選擇這個方案會有新的問題,那就是加工時間會增加。
但最後李家輝和袁國慶對視一眼,都決定先增加產能,再提高速度。
李家輝布置完畢,和袁國慶一起進入了數據分析室。
設計團隊、光刻團隊、測試團隊已經圍在了一起。
經過三個小時的討論,三方達成了共識,目前這就是最好的方案。
就在這時,一個工程師拿著平板著急地跑了過來:「李總,最新的補償曝光實驗已經跑完了。
整體良品率預估能到80%」
李家輝接過平板仔細看了幾個分布圖,看來現實和理論終究是有點差距。
根據現在的方案,可以提高,但想要達到90%甚至更高的良品率,還有一定的問題。
幾個工程師立刻開始調數據,尋找新的方向。
但就在這時,袁國慶的手機響了,他接了電話應了兩聲,然後便捂著話筒對李家輝說:
「沈總辦公室來電話了,問今天能不能把良品率數據同步過去?」
看著80%的良品率,李家輝點了點頭:「老袁,能跑的這個數據已經很好了,給沈總送過去。」
80%的良品率是很高,但是對傳音來說,這還不夠。
說完他們又把平板里的數據導了出來,走到一個工位下,對著屏幕上密密麻麻的缺陷標記點一個接一個地放大檢查。
「這幾個不是隨機缺陷,是系統性的。
在曝光邊緣的同一位置,像是對準標記被局部遮擋了。」
旁邊的工藝工程師也湊過來看,忽然他有了一個大膽的想法。
「袁廠長,會不會是光照上的污染物?
【記住本站域名 追書認準 TW 看書網,𝒔𝒉𝒖.𝒕𝒘超方便 】
第三層模板製造完成後,在存儲過程中可能吸附了有機顆粒。」
這一句話瞬間讓眾人醍醐灌頂,袁國慶更是著急地說:「你馬上去掩膜庫,調第三層的存儲記錄。
從昨天晚上到現在,溫度和濕度的記錄一條都不能少。」
那個人應了一聲小跑著出去,會去的,眾人也放下了懸著的心。
希望這是個方向。
…………
一個小時後問題被找到了。
就是第三層,在凌晨更換掩膜盒的時候,淨化氦氣的濕度超標了4分鐘,有機顆粒吸附在了邊緣區域,形成了一個肉眼不可見,但足以干擾對準信號的微污染帶。
袁國慶看了一下報告,用力地拍了一下桌面。
本來以為是技術問題,結果是人員操作方面的問題。
這群小兔崽子又鬆懈了。
「以後再更換的時候,清潔後重新驗證。
所有的門塊雙人覆核,溫度,濕度超標,10分鐘以後直接報廢。
如果連續多次犯錯,整個部門的年終獎降一級。」
聽到這話,主管負責人立刻低下了頭,他向領導表示會加強管理。
畢竟這次的影響實在是太惡劣了。
安排完之後,袁國慶又給老闆匯報了一下消息:
「老闆,問題找到了,明天上午應該能上80,一個月內上85%。」
…………
與此同時,非洲,盧本巴希,上加丹加省。
3號銅鈷礦區建立在一條裸露的紅土帶上,占地2400多畝。
選礦區堆料廠,維修車間和自動化控制中心都沿著山脊層層排布。
凌晨3點,整個礦區依舊在忙碌著,只不過這一次並不是忙著生產,而是忙著拆卸。
為了加快進度,船營安保甚至抽出了兩個快拆編隊。第一隊負責切斷外部供電,第二隊帶著雷射切割機和液壓破拆設備,直接奔向了核心設備區。
他們的領隊是劉鐵柱,40多歲,曾經在某集團幹了18年。
他可是拆過不少好東西,像是南海的一些小房子,也在崑崙山上安過一些小設備。
現在他指揮著37個兄弟,在三十多度的悶熱環境裡用15分鐘拆掉了第一台雷射選礦機的控制模塊兒。
「注意標記,所有接頭用防靜電帶包好。
模組裝三層防震箱,外面再套一個恆溫貨櫃,明天中午前必須要送到洛比托港。」
兩個小時後,礦區的變壓器被斷開了。
六台大型柴油發電機組被拆走,電纜盤收上重卡,液壓支架按編號裝進加長平板車。
就連採礦區的挖掘機和裝載機也都沒有留下,所有設備全部封存。
就在天亮的時候,從盧本巴希方向開來了兩輛皮卡,帶著四十幾個穿軍裝的本地人,一個個拿著步槍堵在了礦區的南門口。
劉鐵柱從對講機里聽到消息,還在那裡嚼著壓縮餅乾墊肚子。
本來心情就不太好,現在還有人撞槍口,他直接下達了命令:「這是咱們的私有財產。既然他們來了,那就別放過。
先打3槍,如果他們不識趣的話,那就往他們輪胎邊打。
我就不信這群軟腳蝦,還敢迎著來。」
對講機里很快就傳來了清脆的槍聲……
「老大,他們撤了」
中午,從尚比亞恩多拉方向趕來的第三編隊也到了。
他們帶著移動吊車和低板拖車,開始拆自動化分揀線。
礦區的水泥地基上留下了一排排螺栓孔,證明著這裡曾經有著世界上比較先進的自動化產線。
沈飛回國的路上收到了黃天涯發來的戰報:
「目前我國的礦區已經全部拆解完畢。
目前73%的核心設備已完成離礦轉接,三個港口已經開始排隊裝船,最遲7天完成海上回運。」