第 411章 光刻機的體積震撼
方記者連連點頭：「秦總，您好，之前新聞聯播報導過你們的作業系統，想不到這還不是你們集團最核心的寶貝。」
秦政笑了笑：「跟我來，讓你開開眼。」
他帶著央視團隊穿過三道安檢，進入晶圓廠的外圍區域。
第一道安檢是門衛，查驗身份。
第二道是安保，檢查設備。
第三道是電子門禁，刷卡和輸入工號密碼才能進入。
每過一道，方記者臉上的表情就嚴肅一分。
「秦總，這安保級別，待會有不方便出現的鏡頭您跟我說，我們做好打碼處理。」
秦政笑了笑：「不需要，沒事，我們這都可以光明正大拍攝出來報導的，就裡面的寶貝，用他們的話來說，我把圖紙給他們，他們也未必造得出。
真要打碼的話，方記者，那這個報導全是馬賽克了。」秦政也難得開了句玩笑話。
方記者點點頭，沒再說話，示意攝像師跟上。
穿過三道安檢後，他們進入了一間巨大的更衣室。
石青山遞上幾套白色無塵服：「所有人都要換，包括攝像機。鏡頭要包上防塵罩，電池要換防爆的。」
方記者和攝像師花了十幾分鐘換好衣服，跟著秦政和石青山走進車間。
門一打開，方記者愣住了。
車間太大了。
一眼望不到頭，高度至少五層樓。
白色的地面、白色的牆壁、白色的天花板，整個世界都是白的。
空氣中有一股淡淡的化學製劑味，但很乾淨，像是被過濾了一百遍。
頭頂的燈管排成一行行，把整個空間照得沒有一絲陰影。
方記者下意識地抬頭看了一眼。
天花板上有一排排管道，粗細不一，顏色各異，從車間的一頭延伸到另一頭。
有些管道上貼著標籤，寫著「超純水」「氮氣」「真空」「冷卻水」「廢氣」。
「秦總，這車間有多大？這是光刻機嗎？怎麼會這麼大，比一座山看起來還要大。」
石青山立馬回答：「一萬二千平米。潔淨室等級是十級。」
方記者愣了一下：「十級是什麼概念？」
石青山笑了笑：「一立方英尺的空氣中，粒徑大於0.5微米的塵埃不超過十顆。普通醫院手術室是萬級，晶片光刻環境比手術室還要乾淨一千倍。」
方記者沉默了。
他看了看自己身上的無塵服，下意識地把拉鏈又往上提了一點。
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石青山帶著他們繼續往裡走。
光刻機就在車間中央。
方記者遠遠看見那個東西的時候，腳步慢了下來。
太大了。
比他想的大得多。
不是一台機器，是一個龐然大物。
他也只是在書本上見過這種東西的一角。
怎麼也沒想到會這麼大。
方記者目測了一下，這東西至少有四層樓高，像一個巨大的金屬柜子，表面覆蓋著白色外殼。
外殼上密密麻麻地貼著黃色警告標籤，寫著「高壓」「雷射」「輻射」「運動部件」。
側面有一排排管路和線纜，從機器底部延伸到天花板，像血管一樣密集。
機器周圍搭著銀色的維修平台，有三層，每層都有欄杆和樓梯。
最底下是一個控制台，兩個穿無塵服的工程師坐在那裡，盯著屏幕。
機器的頂部，有一根粗壯的金屬管道直插天花板。
石青山指著說：「那是廢氣排放管，把光刻過程中產生的微量廢氣抽走。」
「秦總，這就是光刻機？」方記者震驚的問道。
秦政看著眼前的東西，沒有馬上回答。
他也是第一次親眼看到完全體的光刻機。
之前所有的研發、組裝、調試，都是石青山在做。
他只知道進度，只知道參數，只知道結果。
他從來沒有親眼看過這台機器長什麼樣。
現在他站在這裡，看著這個龐然大物，第一次直觀地感受到了它的分量。
心裡暗暗想到：這玩意就這重量，這體積哪個腦殘貨說可以把它偷運回來？
石青山見秦政四處打量，馬上幫忙回答：「對，這就是，這是我們自己做的，全國產化，包括機身上的每一顆螺絲和螺帽都是，我們基礎材料也略取得一些成果。」
方記者示意攝像師開始拍。
攝像機緩緩掃過光刻機的全貌，從左到右，從下到上。
鏡頭在頂部的管道停留了幾秒，又下移到中部的鏡筒，最後落在底部的雙工件台上。
方記者走近了一點，指著機器中部的一個圓柱形結構問：「這是什麼？」
石青山說：「這是投影物鏡系統。光刻機的核心。193納米紫外光從這裡穿過，經過十幾片透鏡折射後，照射到下面的矽片上。整個鏡筒的鏡片數量、曲率、鍍膜厚度、裝配精度，都決定了光刻的解析度。」
「能進去看看嗎？」
石青山看了秦政一眼。
秦政點頭。
石青山帶著方記者走到機器側面，打開一個艙門。
裡面是一個狹長的通道，剛好夠一個人側身通過。
通道兩側是密密麻麻的管路和線纜，每一根都有標籤。
簡直就是工業排版的巔峰。
看起來，眼睛都是一種享受。
「光刻機有三萬多個零部件。這裡是其中一部分。」
方記者跟著石青山穿過通道，來到機器的另一側。
「這裡是雙工件台的位置。兩個銀色的工件台並排排列，每個上面都固定著一片八英寸矽片，但我們雙工件台和國外的不一樣，雖然稱呼一樣。但無論從運行模式都和國外有所區別，避免了專利侵權。」
只見工件台正在高速移動，從一邊滑到另一邊，速度快得讓方記者眼花。
「工件台在幹什麼？」
秦政笑了笑：「跟我來，讓你開開眼。」
他帶著央視團隊穿過三道安檢，進入晶圓廠的外圍區域。
第一道安檢是門衛，查驗身份。
第二道是安保，檢查設備。
第三道是電子門禁，刷卡和輸入工號密碼才能進入。
每過一道，方記者臉上的表情就嚴肅一分。
「秦總，這安保級別，待會有不方便出現的鏡頭您跟我說，我們做好打碼處理。」
秦政笑了笑：「不需要，沒事，我們這都可以光明正大拍攝出來報導的，就裡面的寶貝，用他們的話來說，我把圖紙給他們，他們也未必造得出。
真要打碼的話，方記者，那這個報導全是馬賽克了。」秦政也難得開了句玩笑話。
方記者點點頭，沒再說話，示意攝像師跟上。
穿過三道安檢後，他們進入了一間巨大的更衣室。
石青山遞上幾套白色無塵服：「所有人都要換，包括攝像機。鏡頭要包上防塵罩，電池要換防爆的。」
方記者和攝像師花了十幾分鐘換好衣服，跟著秦政和石青山走進車間。
門一打開，方記者愣住了。
車間太大了。
一眼望不到頭，高度至少五層樓。
白色的地面、白色的牆壁、白色的天花板，整個世界都是白的。
空氣中有一股淡淡的化學製劑味，但很乾淨，像是被過濾了一百遍。
頭頂的燈管排成一行行，把整個空間照得沒有一絲陰影。
方記者下意識地抬頭看了一眼。
天花板上有一排排管道，粗細不一，顏色各異，從車間的一頭延伸到另一頭。
有些管道上貼著標籤，寫著「超純水」「氮氣」「真空」「冷卻水」「廢氣」。
「秦總，這車間有多大？這是光刻機嗎？怎麼會這麼大，比一座山看起來還要大。」
石青山立馬回答：「一萬二千平米。潔淨室等級是十級。」
方記者愣了一下：「十級是什麼概念？」
石青山笑了笑：「一立方英尺的空氣中，粒徑大於0.5微米的塵埃不超過十顆。普通醫院手術室是萬級，晶片光刻環境比手術室還要乾淨一千倍。」
方記者沉默了。
他看了看自己身上的無塵服，下意識地把拉鏈又往上提了一點。
本書首發 TW 看書網超給力，𝚜𝚑𝚞.𝚝𝚠書庫廣 ,提供給你無錯章節，無亂序章節的閱讀體驗
石青山帶著他們繼續往裡走。
光刻機就在車間中央。
方記者遠遠看見那個東西的時候，腳步慢了下來。
太大了。
比他想的大得多。
不是一台機器，是一個龐然大物。
他也只是在書本上見過這種東西的一角。
怎麼也沒想到會這麼大。
方記者目測了一下，這東西至少有四層樓高，像一個巨大的金屬柜子，表面覆蓋著白色外殼。
外殼上密密麻麻地貼著黃色警告標籤，寫著「高壓」「雷射」「輻射」「運動部件」。
側面有一排排管路和線纜，從機器底部延伸到天花板，像血管一樣密集。
機器周圍搭著銀色的維修平台，有三層，每層都有欄杆和樓梯。
最底下是一個控制台，兩個穿無塵服的工程師坐在那裡，盯著屏幕。
機器的頂部，有一根粗壯的金屬管道直插天花板。
石青山指著說：「那是廢氣排放管，把光刻過程中產生的微量廢氣抽走。」
「秦總，這就是光刻機？」方記者震驚的問道。
秦政看著眼前的東西，沒有馬上回答。
他也是第一次親眼看到完全體的光刻機。
之前所有的研發、組裝、調試，都是石青山在做。
他只知道進度，只知道參數，只知道結果。
他從來沒有親眼看過這台機器長什麼樣。
現在他站在這裡，看著這個龐然大物，第一次直觀地感受到了它的分量。
心裡暗暗想到：這玩意就這重量，這體積哪個腦殘貨說可以把它偷運回來？
石青山見秦政四處打量，馬上幫忙回答：「對，這就是，這是我們自己做的，全國產化，包括機身上的每一顆螺絲和螺帽都是，我們基礎材料也略取得一些成果。」
方記者示意攝像師開始拍。
攝像機緩緩掃過光刻機的全貌，從左到右，從下到上。
鏡頭在頂部的管道停留了幾秒，又下移到中部的鏡筒，最後落在底部的雙工件台上。
方記者走近了一點，指著機器中部的一個圓柱形結構問：「這是什麼？」
石青山說：「這是投影物鏡系統。光刻機的核心。193納米紫外光從這裡穿過，經過十幾片透鏡折射後，照射到下面的矽片上。整個鏡筒的鏡片數量、曲率、鍍膜厚度、裝配精度，都決定了光刻的解析度。」
「能進去看看嗎？」
石青山看了秦政一眼。
秦政點頭。
石青山帶著方記者走到機器側面，打開一個艙門。
裡面是一個狹長的通道，剛好夠一個人側身通過。
通道兩側是密密麻麻的管路和線纜，每一根都有標籤。
簡直就是工業排版的巔峰。
看起來，眼睛都是一種享受。
「光刻機有三萬多個零部件。這裡是其中一部分。」
方記者跟著石青山穿過通道，來到機器的另一側。
「這裡是雙工件台的位置。兩個銀色的工件台並排排列，每個上面都固定著一片八英寸矽片，但我們雙工件台和國外的不一樣，雖然稱呼一樣。但無論從運行模式都和國外有所區別，避免了專利侵權。」
只見工件台正在高速移動，從一邊滑到另一邊，速度快得讓方記者眼花。
「工件台在幹什麼？」