第182章 光刻機突破
測試那天,林建國在實驗室里轉了三圈。
那台光刻機蹲在無塵間中央,銀白色外殼上纏滿傳感器線,像爬了藤的老樹。他站在玻璃窗外,盯著裡頭那片矽片,手心全是汗。
孫小梅在調參數。手指擰一下旋鈕,看一眼屏幕,再擰一下。額頭的汗珠子順著臉頰淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。
「林組長,光源穩了。」
林建國湊到屏幕前。曲線還在跳,比剛才穩了些。
「再等等。」
等了十分鐘。曲線徹底平了。
林建國吸了口氣,按下啟動鍵。
機器轉起來。嗡嗡的,像一群蜜蜂悶在玻璃罐里。矽片在工件台上緩緩移動,光源一閃一閃,把微小的圖案刻上去。
十分鐘。
二十分鐘。
第三十五分鐘,警報突然響了。
「滴——滴——滴——」
孫小梅臉白了:「曝光劑量飄了!正在往上竄!」
林建國撲到屏幕前。那條本該平直的綠線正斜著往上爬,照這個速度,用不了五分鐘,整批矽片就得報廢。
「怎麼回事?」
「不知道!反饋迴路可能出問題了!」
林建國腦子空白了兩秒。九十納米,三個月的心血,全都在這台機器里轉著。
他扭頭看孫小梅。她盯著屏幕,手指懸在急停按鈕上,在抖。
「別停。」林建國嗓子裡像塞了沙子,「手動介入,給我往下壓。」
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孫小梅愣了半秒,咬牙把手收回來,開始擰那些平時根本不動的手動旋鈕。她擰一下,看一眼屏幕,再擰一下。綠線還在爬,但爬得慢了。
林建國盯著牆上的倒計時。還有十六分鐘。
「繼續壓。」
「壓不動了!到底了!」
林建國衝過去,站在她身後:「把阻尼關了,強擰!」
孫小梅手一頓。關了阻尼,擰過頭就是短路。
她沒說話,伸手把阻尼開關撥上去,按住那個旋鈕,一點一點往過擰。
綠線停了。
停在臨界值上,輕輕發顫,就是不往上走了。
林建國屏住呼吸。
一分鐘。
兩分鐘。
五分鐘。
機器嗡地一聲,停了。
孫小梅的手還按在旋鈕上,整個胳膊都在抖。她慢慢鬆開,退後一步,靠在操作台上,大口喘氣。
林建國沒動。他看著屏幕上那根終於落下來的綠線,喉結滾了一下。
「去取片。」
一動不動。
林建國在外頭等得受不了,推門進去。
「怎麼樣?」
孫小梅抬起頭,臉上的表情說不清是哭還是笑。
「成了。」
林建國把她撥開,自己湊到顯微鏡前。
鏡頭裡,那些線條整整齊齊趴著,寬窄一致,邊緣光滑。九十納米,真的刻出來了。
他直起身,看著那台機器,看著那片矽片,看著孫小梅那張糊了汗的臉。
「去喊院長。」
何雨柱到的時候,實驗室里已經擠滿了人。
馬躍進蹲在顯微鏡前看了半天,站起來沖他點點頭。周國強在旁邊翻數據,邊翻邊念叨。幾個年輕人擠在後頭,伸長了脖子往裡看。
林建國把那片矽片遞過來。
「院長,您看看。」
何雨柱接過來,對著燈眯著眼看了一會兒。那片東西小小的,方方正正,邊緣切得整齊。上頭那些紋路,肉眼根本看不見。
他沒提指標,也沒說性能。只是突然笑了一下,聲音有點啞:「當年我在後廚切菜,手腕子切腫了,就想,啥時候能不用人切,機器『咔嚓』一下就完事。」
他把矽片輕輕放回林建國手心,拍了拍他的手背。
「現在這東西,比切菜精細一萬倍。這是替咱們國家,切開了最硬的那塊骨頭。」
屋裡安靜了幾秒。
林建國攥著那片矽片,喉結又滾了一下。他沒說話,只是把那片東西舉起來,對著燈又看了看。
孫小梅在旁邊小聲說:「院長,咱們給它起個名吧。」
何雨柱想了想。
「星河一號。」
有人開始鼓掌。先是稀稀拉拉的,後來越來越響,把整個實驗室震得嗡嗡的。
何雨柱站在那兒,看著那些年輕的臉,看著那台光刻機,看著那片被舉得老高的矽片。
他沒說話。
消息傳得比預想快。
第三天,大領導的批示就下來了。一張紙,就兩行字:「此事甚好。望再接再厲,早日做出實用晶片。所需支持,隨時報來。」
何雨柱把那張紙看了兩遍,折起來,放進抽屜里。
錢所長的電話也來了。
「小何,聽說你們搞出晶片了?」
何雨柱握著話筒:「剛出來,還得調。」
錢所長在那頭笑了:「調什麼調。能刻出九十納米,就是本事。我們這邊有幾個搞材料的,想去你們那兒看看,行不行?」
何雨柱想了想:「行。來吧。」
晚上,老孫來了。
他坐在何雨柱對面,點了根煙,沒抽,就那麼夾著。
「有個事得跟你說。」
何雨柱等著他說下去。
老孫把煙按滅:「國外媒體開始報導了。說中國搞出了九十納米晶片,是『科技奇蹟』。」
何雨柱愣了一下:「從哪兒傳出去的?」
老孫搖搖頭:「還在查。但可以肯定,有人走漏了風聲。」
他站起來,走到窗邊:「安全局的意思是,從現在起,你們這邊所有消息,必須經過審核才能對外。媒體採訪一律不准,論文一律不准發,出去交流一律不准。」
何雨柱點點頭:「明白。」
老孫轉過身,看著他:「還有,你們那幾個骨幹,這段時間最好別單獨外出。我們懷疑,有人盯上你們了。」
何雨柱沒說話。
老孫走了。
他一個人坐在辦公室里,沒開燈。窗外的路燈照進來,把屋裡切成一塊亮一塊暗。
他想著老孫的話,想著那片矽片,想著那些鼓掌的年輕人。
站起來,走到窗邊。
老孫的車已經消失在夜色里。馬路對面,一輛黑色轎車一直停在那兒,熄著火,沒動。
何雨柱正要拉窗簾,那輛車的尾燈突然亮了一下。
又滅了。
還是沒動。
就停在那兒。
何雨柱的手停在窗簾上,看著那兩點剛剛滅掉的紅色。
黑漆漆的夜,那輛車趴在那兒,像只蹲著的獸。
那台光刻機蹲在無塵間中央,銀白色外殼上纏滿傳感器線,像爬了藤的老樹。他站在玻璃窗外,盯著裡頭那片矽片,手心全是汗。
孫小梅在調參數。手指擰一下旋鈕,看一眼屏幕,再擰一下。額頭的汗珠子順著臉頰淌,淌到下巴,滴在工作服上,洇出一小片深色。
「林組長,光源穩了。」
林建國湊到屏幕前。曲線還在跳,比剛才穩了些。
「再等等。」
等了十分鐘。曲線徹底平了。
林建國吸了口氣,按下啟動鍵。
機器轉起來。嗡嗡的,像一群蜜蜂悶在玻璃罐里。矽片在工件台上緩緩移動,光源一閃一閃,把微小的圖案刻上去。
十分鐘。
二十分鐘。
第三十五分鐘,警報突然響了。
「滴——滴——滴——」
孫小梅臉白了:「曝光劑量飄了!正在往上竄!」
林建國撲到屏幕前。那條本該平直的綠線正斜著往上爬,照這個速度,用不了五分鐘,整批矽片就得報廢。
「怎麼回事?」
「不知道!反饋迴路可能出問題了!」
林建國腦子空白了兩秒。九十納米,三個月的心血,全都在這台機器里轉著。
他扭頭看孫小梅。她盯著屏幕,手指懸在急停按鈕上,在抖。
「別停。」林建國嗓子裡像塞了沙子,「手動介入,給我往下壓。」
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孫小梅愣了半秒,咬牙把手收回來,開始擰那些平時根本不動的手動旋鈕。她擰一下,看一眼屏幕,再擰一下。綠線還在爬,但爬得慢了。
林建國盯著牆上的倒計時。還有十六分鐘。
「繼續壓。」
「壓不動了!到底了!」
林建國衝過去,站在她身後:「把阻尼關了,強擰!」
孫小梅手一頓。關了阻尼,擰過頭就是短路。
她沒說話,伸手把阻尼開關撥上去,按住那個旋鈕,一點一點往過擰。
綠線停了。
停在臨界值上,輕輕發顫,就是不往上走了。
林建國屏住呼吸。
一分鐘。
兩分鐘。
五分鐘。
機器嗡地一聲,停了。
孫小梅的手還按在旋鈕上,整個胳膊都在抖。她慢慢鬆開,退後一步,靠在操作台上,大口喘氣。
林建國沒動。他看著屏幕上那根終於落下來的綠線,喉結滾了一下。
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一動不動。
林建國在外頭等得受不了,推門進去。
「怎麼樣?」
孫小梅抬起頭,臉上的表情說不清是哭還是笑。
「成了。」
林建國把她撥開,自己湊到顯微鏡前。
鏡頭裡,那些線條整整齊齊趴著,寬窄一致,邊緣光滑。九十納米,真的刻出來了。
他直起身,看著那台機器,看著那片矽片,看著孫小梅那張糊了汗的臉。
「去喊院長。」
何雨柱到的時候,實驗室里已經擠滿了人。
馬躍進蹲在顯微鏡前看了半天,站起來沖他點點頭。周國強在旁邊翻數據,邊翻邊念叨。幾個年輕人擠在後頭,伸長了脖子往裡看。
林建國把那片矽片遞過來。
「院長,您看看。」
何雨柱接過來,對著燈眯著眼看了一會兒。那片東西小小的,方方正正,邊緣切得整齊。上頭那些紋路,肉眼根本看不見。
他沒提指標,也沒說性能。只是突然笑了一下,聲音有點啞:「當年我在後廚切菜,手腕子切腫了,就想,啥時候能不用人切,機器『咔嚓』一下就完事。」
他把矽片輕輕放回林建國手心,拍了拍他的手背。
「現在這東西,比切菜精細一萬倍。這是替咱們國家,切開了最硬的那塊骨頭。」
屋裡安靜了幾秒。
林建國攥著那片矽片,喉結又滾了一下。他沒說話,只是把那片東西舉起來,對著燈又看了看。
孫小梅在旁邊小聲說:「院長,咱們給它起個名吧。」
何雨柱想了想。
「星河一號。」
有人開始鼓掌。先是稀稀拉拉的,後來越來越響,把整個實驗室震得嗡嗡的。
何雨柱站在那兒,看著那些年輕的臉,看著那台光刻機,看著那片被舉得老高的矽片。
他沒說話。
消息傳得比預想快。
第三天,大領導的批示就下來了。一張紙,就兩行字:「此事甚好。望再接再厲,早日做出實用晶片。所需支持,隨時報來。」
何雨柱把那張紙看了兩遍,折起來,放進抽屜里。
錢所長的電話也來了。
「小何,聽說你們搞出晶片了?」
何雨柱握著話筒:「剛出來,還得調。」
錢所長在那頭笑了:「調什麼調。能刻出九十納米,就是本事。我們這邊有幾個搞材料的,想去你們那兒看看,行不行?」
何雨柱想了想:「行。來吧。」
晚上,老孫來了。
他坐在何雨柱對面,點了根煙,沒抽,就那麼夾著。
「有個事得跟你說。」
何雨柱等著他說下去。
老孫把煙按滅:「國外媒體開始報導了。說中國搞出了九十納米晶片,是『科技奇蹟』。」
何雨柱愣了一下:「從哪兒傳出去的?」
老孫搖搖頭:「還在查。但可以肯定,有人走漏了風聲。」
他站起來,走到窗邊:「安全局的意思是,從現在起,你們這邊所有消息,必須經過審核才能對外。媒體採訪一律不准,論文一律不准發,出去交流一律不准。」
何雨柱點點頭:「明白。」
老孫轉過身,看著他:「還有,你們那幾個骨幹,這段時間最好別單獨外出。我們懷疑,有人盯上你們了。」
何雨柱沒說話。
老孫走了。
他一個人坐在辦公室里,沒開燈。窗外的路燈照進來,把屋裡切成一塊亮一塊暗。
他想著老孫的話,想著那片矽片,想著那些鼓掌的年輕人。
站起來,走到窗邊。
老孫的車已經消失在夜色里。馬路對面,一輛黑色轎車一直停在那兒,熄著火,沒動。
何雨柱正要拉窗簾,那輛車的尾燈突然亮了一下。
又滅了。
還是沒動。
就停在那兒。
何雨柱的手停在窗簾上,看著那兩點剛剛滅掉的紅色。
黑漆漆的夜,那輛車趴在那兒,像只蹲著的獸。