第178章 分享

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  2020年12月5日。

  深圳南山區。鴻遠飛鳥總部三樓會議廳。

  九點整。

  首屆飛鳥聯盟技術分享會正式開始。

  會議廳不大——準確地說,是鴻遠飛鳥最大的一間會議室,臨時改造成了會場。最多容納六十人。此刻坐了大約四十五人。

  23家聯盟成員企業,每家派出了一到兩名技術負責人。加上鴻遠飛鳥自己的團隊——林薇、周琳、趙明、蘇辰——以及一個特殊的客人。

  周志遠。

  他坐在第一排靠角落的位置。穿了一件灰色的夾克,看起來和場內那些MEMS企業的技術總監們沒什麼區別。沒有人注意到他。

  會議廳門口放著一張簽到台。簽到台旁邊擺著一摞文件——保密協議。每一位參會者在簽到時都需要簽署。

  "本次分享會的全部內容屬於飛鳥聯盟內部技術交流資料,未經書面許可不得對外披露。"

  有些參會者在簽署時微微猶豫了一下——畢竟這只是一場技術分享會,有必要搞得這麼嚴肅嗎?但看到鴻遠飛鳥這邊一臉認真的態度,他們還是簽了。

  九點零五分。林薇走上講台。

  "歡迎各位參加首屆飛鳥聯盟技術分享會。"

  她的開場簡短而直接:

  "今天的分享會分兩個環節。第一個環節由我們的技術總監周琳介紹250mm等效熱彈性近似法的工程應用方法論——這是聯盟成員企業在實際生產中可以直接使用的內容。第二個環節由我們的首席研究員蘇辰發布鴻遠飛鳥MEMS技術的最新成果。"

  台下的參會者們微微點頭。250mm的方法論他們已經有所了解——畢竟鴻遠飛鳥在飛鳥聯盟的授權文件中已經包含了部分250mm的技術規範。今天大概是更詳細的版本吧。

  至於"最新成果"——他們好奇,但並沒有太多期待。

  畢竟從外面的輿論來看,鴻遠飛鳥最近的日子並不好過。"前博世員工"的知乎帖子有1.8萬贊。"半導體行業觀察"的深度文章有10萬+閱讀。微博上好幾個帳號同時看衰。

  在這樣的輿論環境下,鴻遠飛鳥能拿出什麼"最新成果"呢?

  大概率是250mm技術的某個改進版本吧——也許良品率提高了一些,也許精度在某個方向上有了小幅提升。

  有參會者甚至在心裡想——今天來這一趟主要是為了維護關係。畢竟加入了飛鳥聯盟,面子上總得給到位。

  九點十分。周琳開始了第一個環節的報告。

  她的報告做得很專業——PPT清晰,數據詳實,邏輯嚴密。

  從250mm等效熱彈性近似法的基本原理出發,系統地介紹了工程應用中的關鍵步驟:參數標定流程、溫度梯度控制方法、DRIE設備的調試要點、良品率的優化策略。

  每一個步驟都配有詳細的數據和圖表。

  台下的技術負責人們認真地做著筆記。有些人不時點頭——內容確實紮實,比授權文件中提供的技術規範詳細得多。

  但新意不多。

  因為核心內容——250mm的精度數據、側壁角度12.03度——這些他們早就知道了。公開論文裡有,36氪的報導里有,甚至知乎上都討論爛了。

  報告持續了大約四十五分鐘。

  期間有幾次提問——關於溫度梯度的控制精度、關於不同型號DRIE設備的兼容性問題——周琳都一一做了詳細的解答。

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  十點整。第一個環節結束。

  林薇宣布休息十分鐘。

  休息時間裡,幾位參會者湊在一起小聲交流。

  "內容不錯,但基本都是已知信息的細化版本。"

  "嗯,方法論確實比授權文件里詳細多了,回去可以直接用。"

  "不過第二個環節說的'最新成果'是什麼?你猜是什麼?"

  "估計是250mm的改進版吧。也許良品率又提高了一兩個百分點?"

  "差不多吧。反正不可能是300mm——外面不是都說鴻遠飛鳥的300mm還遙遙無期嗎。"

  "那個知乎上的帖子你看了嗎?說鴻遠飛鳥30%的封裝依賴微創傳感——"

  "看了看了。說實話,有點擔心。"

  他們的聲音很小。但坐在角落裡的周志遠全部聽到了。

  他端著一杯紙杯咖啡,嘴角微微勾了一下。

  十點十分。第二個環節開始。

  林薇再次走上講台:

  "第二個環節。由鴻遠飛鳥首席研究員蘇辰發布我們的最新技術成果。"

  蘇辰從第一排站起來,走上了講台。

  他穿了一件深藍色的襯衫——這是林薇昨天讓周琳幫他準備的,他自己平時只穿實驗服或者T恤。他站在講台上的樣子有些拘謹——和那些職業經理人的從容完全不同。

  "大家好。我是蘇辰。"

  他的開場白就這麼一句話。

  台下有幾個參會者微微皺眉——這也太簡短了吧。

  蘇辰沒有多說什麼。他點擊了遙控器,身後的投影屏幕上出現了一張圖片。

  那是一張白光干涉儀的三維地形圖——300mm矽片表面微結構的精確形貌。彩色的高度映射從藍色到紅色,微結構的溝槽清晰可見。

  "這是12月3日的實驗數據。"

  蘇辰的聲音很平,沒有任何修飾:

  "300mm P型矽片。DRIE刻蝕。"

  台下有人的筆停住了。

  300mm?

  "側壁角度——12.07度。"

  蘇辰點擊了一下遙控器。屏幕上出現了一行大號數字。

  300mm DRIE刻蝕驗證結果

  側壁角度:12.07°

  精度偏差:±0.018°

  側壁粗糙度:Ra 2.3nm

  矽片使用:1/3(一次成功)

  會議室里安靜了三秒。

  然後有人倒吸了一口冷氣。

  "300mm……驗證成功了?"

  一個坐在第二排的中年人——蘇州某MEMS封裝企業的技術總監——用幾乎不敢相信的語氣說出了這句話。

  蘇辰看了他一眼:"驗證成功了。"

  "正負零點零一八度?!"另一個人驚呼,"這精度比250mm的還高?!"

  "是的。"蘇辰說,"三階修正模型在大尺度上的預測精度反而更高。這說明模型捕獲了正確的物理本質。"

  會議室里開始出現嗡嗡的議論聲。

  有人推了推眼鏡,反覆看著屏幕上的數據。有人掏出手機拍照——然後想起了保密協議,又把手機收了回去。有人和旁邊的同事對視了一眼,都從對方眼中看到了震驚。

  "等一下——"一個聲音從第三排傳來。那是一個四十多歲的女性,頭髮利落地紮成馬尾——她是深圳一家MEMS傳感器企業的CTO,也是飛鳥聯盟最早加入的成員之一。

  "蘇辰先生,您說'一次成功'——您的意思是,300mm的試刻蝕只進行了一次?沒有多次疊代?"

  "對。"蘇辰說,"準備了三片矽片。只用了一片。第一次試刻蝕就達到了目標精度。"

  會議室里又安靜了兩秒。

  "一次成功"——這四個字的分量比12.07度本身還重。

  因為在MEMS領域,300mm的高精度刻蝕是一個公認的難題。博世自己的技術路線圖上,300mm的預研時間是兩到三年。即使到了實驗階段,通常也需要數十次甚至上百次的工藝疊代才能達到目標精度。

  而蘇辰說——一次。

  這不是工程經驗的積累。這是理論預測的力量。

  如果理論模型足夠精確,那根本不需要多次疊代——計算出來的參數就是最終答案。

  這意味著什麼?

  台下那些MEMS行業的技術負責人們——他們比外面那些寫文章的人更懂這個領域——他們立刻明白了這意味著什麼。

  這意味著鴻遠飛鳥掌握的不是一個"工程技巧",而是一個"理論體系"。

  工程技巧是可以被追趕的——你做一百次實驗,我做兩百次,總有一天能追上。

  但理論體系不同。理論體系意味著——你還在做第一百次實驗的時候,對方已經用一次計算得出了正確答案。

  這個差距不是時間可以彌補的。

  "蘇辰先生。"那個馬尾女性CTO又開口了,聲音比剛才更沉穩,"250mm的精度是12.03度正負0.025度。300mm的精度是12.07度正負0.018度。精度反而提高了——這是否意味著你們的理論模型在更大的尺度上表現更好?"

  "是的。"蘇辰回答得毫不猶豫,"三階修正項的貢獻在大尺度上更顯著。模型的預測精度隨尺度增大而提高。"

  "那400mm呢?"她追問。

  "理論上應該更准。"蘇辰說,"但目前沒有400mm的DRIE設備。"

  "如果有呢?"

  "如果有——"蘇辰停頓了一秒,"精度應該在±0.015度以內。"

  會議室里再次沉默。

  ±0.015度。這個數字意味著在400mm尺度上,鴻遠飛鳥的理論模型能夠達到目前全球任何MEMS企業在200mm尺度上都難以企及的精度。

  一個坐在後排的年輕技術員忍不住低聲對旁邊的同事說:

  "所以之前那些文章說'領先優勢只有半代'——"

  "閉嘴。"他的同事低聲打斷了他,"不是半代。是一整代。至少。"

  蘇辰在台上站了大約二十分鐘。

  他沒有PPT。只有那一張白光干涉儀的三維地形圖,和那一組數據。

  二十分鐘裡,他回答了十二個技術問題。每個回答都簡短、精確、沒有多餘的話。

  "刻蝕氣體配比是多少?"——"SF6/C4F8,比例4.2:1。"

  "循環時間?"——"單循環45分鐘。三個循環。"

  "第七區域的邊界過渡段——"蘇辰微微抬了一下眉——這個問題問得很專業——"三階耦合項疊代1031次後收斂。後續優化網格密度可以降低到700次以內。"

  每一個回答都讓台下的技術負責人們更加確信——這不是一組被修飾過的數據。這是真實的、經得起推敲的實驗結果。

  十點三十五分。蘇辰的報告結束。

  會議室里響起了掌聲。

  這不是那種禮貌性的掌聲。這是真正的、發自內心的掌聲。

  因為在場的四十多人——他們都是MEMS行業的從業者——他們比任何人都清楚12.07度和±0.018度意味著什麼。

  這意味著他們押對了。

  加入飛鳥聯盟——是對的。

  簽下那份授權協議——是對的。

  在外面所有人都在質疑鴻遠飛鳥的時候,他們選擇站在鴻遠飛鳥這邊——是對的。

  掌聲中,蘇辰走下講台,回到了第一排的位置。

  周志遠在他旁邊坐著,輕輕拍了一下他的肩膀。什麼都沒說。

  蘇辰也什麼都沒說。

  ……

  十點四十分。

  林薇再次走上講台。

  "在今天的分享會結束之前,還有最後一個環節。"

  她看向第一排角落裡的周志遠:

  "鴻遠飛鳥正式聘請中國科學院力學研究所的周志遠教授擔任我們的技術顧問。周志遠教授在角向對稱性降維方法方面做出了關鍵貢獻——正是這一方法使得300mm的參數計算成為可能。"

  周志遠站了起來。

  台下的參會者們紛紛看向他——之前沒人注意到這個穿灰色夾克的中年人。

  "周志遠?中科院力學所的?"有人低聲問身邊的同事。

  "國內連續介質力學的權威之一。"他的同事低聲回答,"之前沒聽說和MEMS行業有交集啊。"

  林薇將一份聘書遞給周志遠。聘書很簡單——白色硬卡紙,鴻遠飛鳥的藍色logo,周志遠的名字,"技術顧問"四個字。

  周志遠接過聘書。

  "謝謝。"他說。然後他看了一眼蘇辰,又看了一眼台下的參會者們,"我只說一句話。"

  台下安靜了下來。

  "蘇辰的等效熱彈性近似法——以及他在此基礎上發展的三階修正模型——是過去十年我見過的最優美的應用力學理論之一。它不是經驗公式的堆砌,不是數值模擬的拼湊——它是從第一性原理出發的、自洽的、可預測的理論體系。"

  他停頓了一下:

  "今天你們看到的12.07度和±0.018度——不是終點。是起點。"

  會議室里再次響起掌聲。這一次掌聲更加熱烈。

  十點四十五分。分享會正式結束。

  ……

  但真正的"分享會"——在會後才開始。

  從十點四十五分到中午十二點,林薇的辦公室門口排起了隊。

  23家聯盟成員企業中的17家——他們的代表在分享會結束後第一時間找到了林薇或者周琳,提出了各種各樣的合作意向。

  "林總,我們之前簽的授權協議是基礎版的——現在能升級到完整版嗎?"

  "林總,300mm的技術授權什麼時候開放?我們願意提前預付授權費。"

  "林總,我們公司有一條閒置的200mm封裝線——如果鴻遠飛鳥需要,我們可以改造成250mm的。"

  "林總——"

  "林總——"

  林薇一一接待了他們。表情始終平靜。


  3家。

  這意味著供應鏈的壓力將比預期更快地得到緩解。

  微創傳感的減供——400萬降到300萬,還在逐月遞減——這依然是一個問題。但如果這3家的產能能夠在三個月內上線,那微創傳感的減供將不再是致命威脅。

  更重要的是——之前沒有加入飛鳥聯盟的企業。

  技術分享會只對聯盟成員開放。300mm的數據只有聯盟成員看到了。但消息會擴散。林薇很清楚——在場的四十多人中,至少有一半會在今天晚上就和行業內的朋友談起今天的內容。

  保密協議能約束他們不公開發布。但不能約束他們在私下場合提到"鴻遠飛鳥的300mm驗證成功了"這樣的信息。

  一周。也許兩周。消息就會擴散到整個行業。

  到那時——那些之前猶豫著沒有加入飛鳥聯盟的企業,會主動找上門來。

  而那些參與了輿論打壓的企業——如果有的話——它們會意識到自己站錯了隊。

  林薇不需要回應任何質疑文章。不需要發布任何公關聲明。

  她只需要等。

  12.07度會替她完成所有的工作。

  ……

  中午十二點。

  蘇辰、周志遠、林薇三人在總部樓下的一家潮汕牛肉火鍋店吃午飯。

  周琳本來也想來,但被林薇留在辦公室接待還在排隊的企業代表。

  "今天的報告你做得不錯。"林薇對蘇辰說。

  "我只講了數據。"蘇辰說。

  "所以說做得不錯。"周志遠在旁邊插了一句,"你如果多說一個字都會變得更差。"

  蘇辰看了他一眼,沒有反駁。

  "論文的事。"周志遠用公筷涮了一片牛肉,"提綱我已經列好了。大框架是三部分——理論推導、計算方法、實驗驗證。預計篇幅在四十頁左右。投Nature Materials還是Advanced Materials?"

  "投哪個都行。"蘇辰說。

  "那就投Nature Materials。影響因子更高。而且這篇論文——"周志遠停下筷子,認真地看著蘇辰,"這篇論文的意義不只是MEMS。等效熱彈性近似法的三階擴展在整個連續介質力學領域都是一個突破。如果審稿人能看到這一點——這篇論文有可能是你學術生涯最重要的一篇。"

  "不是我最重要的。"蘇辰說。

  "那你覺得哪篇是?"

  "下一篇。"

  周志遠愣了一下,然後笑了:"你倒是自信。"

  "不是自信。"蘇辰說,"是還有很多問題沒解決。解決了就寫。"

  "比如?"

  "比如400mm。比如三階修正模型在非矽材料上的推廣。比如刻蝕以外的MEMS工藝。"蘇辰用筷子夾起一片牛肉,"300mm只是第一步。"

  "說得好像很輕鬆似的。"周志遠搖搖頭,"你知道光是300mm這一步,放在全世界任何一個MEMS實驗室里都是至少兩到三年的工作量吧。"

  蘇辰沒有回應。他在吃牛肉。

  林薇在一旁安靜地聽著兩個人的對話。她沒有參與技術討論——但她注意到了一件事。

  蘇辰今天的話比平時多了。

  也許是因為周志遠在。也許是因為300mm成功了。也許只是因為牛肉火鍋比盒飯好吃。

  無論原因是什麼,林薇覺得這是一個好兆頭。


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