第311章 紅章急電與加熱之痛
姜明接過電報的時候手上還沾著報廢倉庫里的機油和灰塵,他在工裝褲側面蹭了兩下,拆開封口。
電報來自物理所,發報人的編碼是王守武團隊的專用代號。
內容很短,但每一個字都像釘子一樣紮實,雙擴散工藝中矽片在降溫階段發生大面積解理斷裂,最新一批投片全部報廢,三號爐的熱場均勻度已經無法滿足擴散需求,請求502技術支援。
大劉站在旁邊,從姜明的表情變化里讀不出什麼具體信息,但他注意到姜明拿著電報紙的手指捏緊了一點。
送電報的辦事員還沒走,他站在報廢倉庫門口往裡張望了一眼,看見裡面堆滿了生鏽的舊設備和蒙著灰布的機櫃,忍不住嘀咕了一句。
「502的人還在搗鼓這些廢鐵呢,物理所那邊材料都碎了,前方的仗還怎麼打。」
聲音不大,但在狹窄的通道里傳得很清楚。
姜明沒有抬頭看他,把電報紙折好裝進胸前口袋,回頭看了一眼大劉手上還沾著的油泥。
「先把手擦乾淨再接圖紙,去車間拿抹布。」
大劉應了一聲小跑著去了。
吳漢章是十五分鐘後衝進實驗室的,手裡攥著一疊照片,照片是物理所用傳真線路加急發過來的,像素粗糙但裂紋的走向看得很清楚。
碎裂的矽片被排成一排拍在白紙背景上,每一片的斷面都呈現出相似的紋路——裂紋沿著晶格的解理面延伸,斷口平整而光滑,這不是機械衝擊造成的隨機碎裂,而是熱應力沿特定晶向集中釋放的結果。
「全碎了!」吳漢章把照片拍在實驗台上,急得聲音都變了調,「一整爐次的投片,一片都沒活下來,王守武那邊急得已經三天沒怎麼睡了。」
姜明拿起最上面一張照片,舉到實驗台上方的燈管下面端詳。
裂紋的起始點幾乎全部位於矽片的邊緣區域,從外圈向中心輻射狀延伸,間距和方向高度一致。
如果是擴散溫度本身的問題,裂紋應該在整個片面上隨機分布,不會這麼規律地從邊緣起始。
「不是溫控算法的事。」姜明把照片放下來。
吳漢章剛要張嘴反駁,被姜明接下來的話堵了回去。
「裂紋全是在冷卻階段產生的,沿晶格的解理面走,起始點集中在矽片邊緣。」他用手指在照片上畫了一個圈,「這說明冷卻的時候矽片邊緣降溫比中心快得多,邊緣先收縮,中心還在膨脹,溫差產生的熱應力超過了矽的解理強度。」
「熱場不均勻?」吳漢章皺著眉頭。
「三號爐的碳化矽加熱棒已經用了兩年多了,輻射面的發射率會隨著使用時間不斷劣化,特別是棒體中段和端部的衰減速度不一樣,導致爐膛內的溫度分布出現梯度。」
姜明從口袋裡掏出那張電報紙重新展開。
「加熱棒老化這個問題不是今天才有的,之前拉單晶的時候我們已經在端部電阻率偏差上看到了苗頭,只是那時候偏差還在容許範圍內。」
「現在雙擴散工藝對溫場均勻度的要求比拉晶高一個量級,老化的加熱棒撐不住了。」
吳漢章聽完沉默了幾秒,他心裡在算時間。
距離五院要求的下一批合格計算機邏輯晶片交付只剩十天,如果不能在十天內解決熱場問題,整個制導重構項目就會因為缺少最基礎的矽晶片而停擺。
「換加熱棒?」
「進口渠道已經斷了。」姜明的回答很乾脆。
吳漢章的臉色更難看了。
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「那怎麼辦?」
姜明沒有馬上回答,他從實驗台下面的抽屜里取出那沓在報廢倉庫拿回來的圖紙,在吳漢章面前鋪開。
「射頻感應加熱。」
吳漢章看著圖紙上的線圈繞組截面圖和電磁耦合計算,臉上的焦躁變成了另一種表情——不是不相信,而是覺得這件事在時間上根本來不及。
「十天之內搭一台射頻加熱爐,調通溫控,跑出合格的矽片?」他的語氣裡帶著明顯的質疑,「這是天方夜譚。」
姜明翻開圖紙的第三頁,上面是他此前推算完畢的電磁耦合分布圖,線圈匝距、頻率、功率和石墨坩堝尺寸之間的對應關係被整理成一張表格,每個數據旁邊都有詳細的計算過程。
「電磁耦合的部分我已經算完了,線圈繞制用現成的紫銅管,坩堝和石英外管用庫存的備品。」
他的手指移到圖紙右下角。
「唯一的問題是電源。」
報廢倉庫里那台舊高頻電源的變壓器雖然線圈完好,但漏油導致絕緣等級下降到了危險水平,直接通電可能在高壓端產生爬電甚至擊穿。
這時候周承安從車間那頭跑過來,手裡拿著一張測試單。
「姜工,我剛去報廢倉庫測了一下那台變壓器的絕緣,端蓋密封墊已經全部老化脫落了,漏油嚴重,高壓側對地的絕緣電阻只有標準值的三分之一。」
周承安的報告證實了姜明此前的判斷——問題出在密封和絕緣介質上,不是線圈本身。
傳統的油浸變壓器靠絕緣油同時承擔絕緣和散熱兩重功能,一旦漏油,兩個功能同時喪失。
但如果換一種思路呢?
姜明盯著那張測試單上的數字看了幾秒,腦子裡的念頭逐漸清晰起來。
「把變壓器從外殼裡吊出來,線圈鐵芯不動,外殼和密封墊全部扔掉。」
吳漢章和周承安同時愣住了。
「扔掉?」吳漢章以為自己聽錯了,「沒有外殼和油,高壓線圈裸露在空氣里,通電就擊穿。」
「不用油。」姜明從工具架上取下一罐環氧樹脂,罐體上貼著502車間的庫存標籤,「真空灌封。」
他的手指敲了敲樹脂罐的蓋子。
「把線圈和鐵芯整體放進一個金屬模具里,抽真空排盡空氣和水汽,然後在負壓狀態下把環氧樹脂灌進去,讓樹脂填滿線圈之間的所有縫隙。」
「樹脂固化之後就是一個實心的絕緣體,不需要油,不需要密封墊,而且導熱性比空氣好得多,散熱靠樹脂表面的自然對流就夠了。」
吳漢章張了張嘴,他想說這個方案太冒險了,萬一樹脂灌封過程中混入氣泡,高壓通電的時候氣泡就是局部放電的起爆點,比漏油還危險。
但姜明接下來說的話把他的反駁堵了回去。
「關鍵是抽真空的環節,真空度必須達到負壓沸點以下,這樣不僅能排盡氣泡,還能利用低壓沸騰把線圈繞組裡殘存的水汽全部蒸髮帶走。」
「線圈在灌封之前先經過一次真空脫水,等於做了一次額外的絕緣預處理,封裝完成後的絕緣性能會比原來的油浸設計更高。」
吳漢章不說話了,他在腦子裡過了一遍這個流程的邏輯鏈,發現找不到可以反駁的硬傷。
大劉和老孫已經把變壓器從報廢倉庫的外殼裡拆了出來,線圈鐵芯被吊在車間裡的行車上,表面殘留的舊絕緣油用棉紗擦了三遍,最後用丙酮溶劑做了最終清洗。
金屬灌封模具是老孫拿手的活兒,他用車間裡的鋼板和角鐵在兩個小時內焊了一個方形的盒子,尺寸剛好能把線圈鐵芯整體裝進去,四周留出三厘米的間隙作為樹脂填充空間。
下午四點,線圈被放進模具,模具蓋板用螺栓擰緊密封,抽氣管接上了車間角落裡那台老式空氣壓縮機改裝的真空泵。
真空泵的電機嗡嗡地轉起來,模具內部的氣壓開始下降,壓力表的指針慢慢往左偏轉。
樹脂罐被加熱到規定溫度以降低粘度,灌注管連接在模具頂部的注入口上,閥門暫時關閉,等真空度達到目標值後再開閥。
一切都在按計劃推進。
姜明站在模具旁邊盯著壓力表,左手扶著注入閥門的手柄,右手拿著一隻秒表。
車間裡的空氣壓縮機皮帶已經連續運轉了將近四十分鐘,橡膠皮帶在高速旋轉的飛輪和電機輪之間繃成一條模糊的黑線。
然後那條黑線突然不再模糊了。
一聲悶響,皮帶從飛輪上脫落,斷裂的橡膠條像一條被甩出去的鞭子,抽在車間的鐵皮牆壁上發出當的一聲脆響。
飛輪失去了負載,轉速驟然升高,帶起的旋風把地上的灰塵和碎屑捲起來,幾個站在旁邊的年輕技術員本能地往後退了好幾步。
壓縮機的排氣閥失去了驅動壓力,真空泵的抽氣速率開始下降。
姜明的目光從壓力表上移到飛輪上,再移回壓力表。
指針已經停止了下降的趨勢,正在緩慢地向右回偏——真空度在往下掉。
如果真空度跌破臨界線,模具里已經開始脫氣的線圈就會重新吸入空氣,之前排出的水汽和微量氣體會在樹脂灌注過程中形成氣泡。
帶著氣泡的環氧灌封體通上高壓,就是一顆定時炸彈。
整台電源將徹底報廢,不會再有第二次修復的機會。
老孫從車間另一頭衝過來,手裡攥著一把鉗子,腳下的步子因為地面的油漬打了一個趔趄,他扶了一下工作檯的邊角穩住身形,眼睛死死盯著那個正在高速空轉的飛輪。
「都讓開!」
他大吼了一聲,幾個愣在原地的技術員這才回過神來,慌忙往兩側散開。
電報來自物理所,發報人的編碼是王守武團隊的專用代號。
內容很短,但每一個字都像釘子一樣紮實,雙擴散工藝中矽片在降溫階段發生大面積解理斷裂,最新一批投片全部報廢,三號爐的熱場均勻度已經無法滿足擴散需求,請求502技術支援。
大劉站在旁邊,從姜明的表情變化里讀不出什麼具體信息,但他注意到姜明拿著電報紙的手指捏緊了一點。
送電報的辦事員還沒走,他站在報廢倉庫門口往裡張望了一眼,看見裡面堆滿了生鏽的舊設備和蒙著灰布的機櫃,忍不住嘀咕了一句。
「502的人還在搗鼓這些廢鐵呢,物理所那邊材料都碎了,前方的仗還怎麼打。」
聲音不大,但在狹窄的通道里傳得很清楚。
姜明沒有抬頭看他,把電報紙折好裝進胸前口袋,回頭看了一眼大劉手上還沾著的油泥。
「先把手擦乾淨再接圖紙,去車間拿抹布。」
大劉應了一聲小跑著去了。
吳漢章是十五分鐘後衝進實驗室的,手裡攥著一疊照片,照片是物理所用傳真線路加急發過來的,像素粗糙但裂紋的走向看得很清楚。
碎裂的矽片被排成一排拍在白紙背景上,每一片的斷面都呈現出相似的紋路——裂紋沿著晶格的解理面延伸,斷口平整而光滑,這不是機械衝擊造成的隨機碎裂,而是熱應力沿特定晶向集中釋放的結果。
「全碎了!」吳漢章把照片拍在實驗台上,急得聲音都變了調,「一整爐次的投片,一片都沒活下來,王守武那邊急得已經三天沒怎麼睡了。」
姜明拿起最上面一張照片,舉到實驗台上方的燈管下面端詳。
裂紋的起始點幾乎全部位於矽片的邊緣區域,從外圈向中心輻射狀延伸,間距和方向高度一致。
如果是擴散溫度本身的問題,裂紋應該在整個片面上隨機分布,不會這麼規律地從邊緣起始。
「不是溫控算法的事。」姜明把照片放下來。
吳漢章剛要張嘴反駁,被姜明接下來的話堵了回去。
「裂紋全是在冷卻階段產生的,沿晶格的解理面走,起始點集中在矽片邊緣。」他用手指在照片上畫了一個圈,「這說明冷卻的時候矽片邊緣降溫比中心快得多,邊緣先收縮,中心還在膨脹,溫差產生的熱應力超過了矽的解理強度。」
「熱場不均勻?」吳漢章皺著眉頭。
「三號爐的碳化矽加熱棒已經用了兩年多了,輻射面的發射率會隨著使用時間不斷劣化,特別是棒體中段和端部的衰減速度不一樣,導致爐膛內的溫度分布出現梯度。」
姜明從口袋裡掏出那張電報紙重新展開。
「加熱棒老化這個問題不是今天才有的,之前拉單晶的時候我們已經在端部電阻率偏差上看到了苗頭,只是那時候偏差還在容許範圍內。」
「現在雙擴散工藝對溫場均勻度的要求比拉晶高一個量級,老化的加熱棒撐不住了。」
吳漢章聽完沉默了幾秒,他心裡在算時間。
距離五院要求的下一批合格計算機邏輯晶片交付只剩十天,如果不能在十天內解決熱場問題,整個制導重構項目就會因為缺少最基礎的矽晶片而停擺。
「換加熱棒?」
「進口渠道已經斷了。」姜明的回答很乾脆。
吳漢章的臉色更難看了。
(由於緩存原因,請用戶直接瀏覽器訪問 TW 看書網超順暢,ⓢⓗⓤ.ⓣⓦ隨時讀 網站,觀看最快的章節更新)
「那怎麼辦?」
姜明沒有馬上回答,他從實驗台下面的抽屜里取出那沓在報廢倉庫拿回來的圖紙,在吳漢章面前鋪開。
「射頻感應加熱。」
吳漢章看著圖紙上的線圈繞組截面圖和電磁耦合計算,臉上的焦躁變成了另一種表情——不是不相信,而是覺得這件事在時間上根本來不及。
「十天之內搭一台射頻加熱爐,調通溫控,跑出合格的矽片?」他的語氣裡帶著明顯的質疑,「這是天方夜譚。」
姜明翻開圖紙的第三頁,上面是他此前推算完畢的電磁耦合分布圖,線圈匝距、頻率、功率和石墨坩堝尺寸之間的對應關係被整理成一張表格,每個數據旁邊都有詳細的計算過程。
「電磁耦合的部分我已經算完了,線圈繞制用現成的紫銅管,坩堝和石英外管用庫存的備品。」
他的手指移到圖紙右下角。
「唯一的問題是電源。」
報廢倉庫里那台舊高頻電源的變壓器雖然線圈完好,但漏油導致絕緣等級下降到了危險水平,直接通電可能在高壓端產生爬電甚至擊穿。
這時候周承安從車間那頭跑過來,手裡拿著一張測試單。
「姜工,我剛去報廢倉庫測了一下那台變壓器的絕緣,端蓋密封墊已經全部老化脫落了,漏油嚴重,高壓側對地的絕緣電阻只有標準值的三分之一。」
周承安的報告證實了姜明此前的判斷——問題出在密封和絕緣介質上,不是線圈本身。
傳統的油浸變壓器靠絕緣油同時承擔絕緣和散熱兩重功能,一旦漏油,兩個功能同時喪失。
但如果換一種思路呢?
姜明盯著那張測試單上的數字看了幾秒,腦子裡的念頭逐漸清晰起來。
「把變壓器從外殼裡吊出來,線圈鐵芯不動,外殼和密封墊全部扔掉。」
吳漢章和周承安同時愣住了。
「扔掉?」吳漢章以為自己聽錯了,「沒有外殼和油,高壓線圈裸露在空氣里,通電就擊穿。」
「不用油。」姜明從工具架上取下一罐環氧樹脂,罐體上貼著502車間的庫存標籤,「真空灌封。」
他的手指敲了敲樹脂罐的蓋子。
「把線圈和鐵芯整體放進一個金屬模具里,抽真空排盡空氣和水汽,然後在負壓狀態下把環氧樹脂灌進去,讓樹脂填滿線圈之間的所有縫隙。」
「樹脂固化之後就是一個實心的絕緣體,不需要油,不需要密封墊,而且導熱性比空氣好得多,散熱靠樹脂表面的自然對流就夠了。」
吳漢章張了張嘴,他想說這個方案太冒險了,萬一樹脂灌封過程中混入氣泡,高壓通電的時候氣泡就是局部放電的起爆點,比漏油還危險。
但姜明接下來說的話把他的反駁堵了回去。
「關鍵是抽真空的環節,真空度必須達到負壓沸點以下,這樣不僅能排盡氣泡,還能利用低壓沸騰把線圈繞組裡殘存的水汽全部蒸髮帶走。」
「線圈在灌封之前先經過一次真空脫水,等於做了一次額外的絕緣預處理,封裝完成後的絕緣性能會比原來的油浸設計更高。」
吳漢章不說話了,他在腦子裡過了一遍這個流程的邏輯鏈,發現找不到可以反駁的硬傷。
大劉和老孫已經把變壓器從報廢倉庫的外殼裡拆了出來,線圈鐵芯被吊在車間裡的行車上,表面殘留的舊絕緣油用棉紗擦了三遍,最後用丙酮溶劑做了最終清洗。
金屬灌封模具是老孫拿手的活兒,他用車間裡的鋼板和角鐵在兩個小時內焊了一個方形的盒子,尺寸剛好能把線圈鐵芯整體裝進去,四周留出三厘米的間隙作為樹脂填充空間。
下午四點,線圈被放進模具,模具蓋板用螺栓擰緊密封,抽氣管接上了車間角落裡那台老式空氣壓縮機改裝的真空泵。
真空泵的電機嗡嗡地轉起來,模具內部的氣壓開始下降,壓力表的指針慢慢往左偏轉。
樹脂罐被加熱到規定溫度以降低粘度,灌注管連接在模具頂部的注入口上,閥門暫時關閉,等真空度達到目標值後再開閥。
一切都在按計劃推進。
姜明站在模具旁邊盯著壓力表,左手扶著注入閥門的手柄,右手拿著一隻秒表。
車間裡的空氣壓縮機皮帶已經連續運轉了將近四十分鐘,橡膠皮帶在高速旋轉的飛輪和電機輪之間繃成一條模糊的黑線。
然後那條黑線突然不再模糊了。
一聲悶響,皮帶從飛輪上脫落,斷裂的橡膠條像一條被甩出去的鞭子,抽在車間的鐵皮牆壁上發出當的一聲脆響。
飛輪失去了負載,轉速驟然升高,帶起的旋風把地上的灰塵和碎屑捲起來,幾個站在旁邊的年輕技術員本能地往後退了好幾步。
壓縮機的排氣閥失去了驅動壓力,真空泵的抽氣速率開始下降。
姜明的目光從壓力表上移到飛輪上,再移回壓力表。
指針已經停止了下降的趨勢,正在緩慢地向右回偏——真空度在往下掉。
如果真空度跌破臨界線,模具里已經開始脫氣的線圈就會重新吸入空氣,之前排出的水汽和微量氣體會在樹脂灌注過程中形成氣泡。
帶著氣泡的環氧灌封體通上高壓,就是一顆定時炸彈。
整台電源將徹底報廢,不會再有第二次修復的機會。
老孫從車間另一頭衝過來,手裡攥著一把鉗子,腳下的步子因為地面的油漬打了一個趔趄,他扶了一下工作檯的邊角穩住身形,眼睛死死盯著那個正在高速空轉的飛輪。
「都讓開!」
他大吼了一聲,幾個愣在原地的技術員這才回過神來,慌忙往兩側散開。