第888章 EUV這條路，我們不追了！
上滬，國際半導體大會主會場。
上午九點。
原本該是熱鬧的產業大會，此刻壓得像戰前動員。
會場外，展板還寫著「國產替代」「先進位造」「協同攻關」。
會場內，所有人的臉都不好看。
美國封鎖令正式文本已經公布。
名單比傳聞更長。
晶片、EDA、光刻設備、精密儀器、特種氣體、高純材料，一刀切下來，連邊角料都不想給華夏留。
台上，一個老專家正在匯報。
「高端光刻機，我們目前最大的短板，仍然是核心物鏡系統。」
「浸沒式光路穩定性不足。」
「雙工件台納米級同步還沒完全打穿。」
「光刻膠、掩膜版、特種氣體、缺陷檢測，也都有瓶頸。」
他說完，台下沒有掌聲。
不是不尊重，是大家心裡都堵。
一個晶圓廠負責人低聲問旁邊人：
「你們庫存還能撐多久？」
「光刻膠四十六天。」
「特氣兩個月。」
「EDA授權呢？」
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「最麻煩。」
「美國那邊把雲端許可卡住，我們幾個項目可能要停。」
手機廠代表臉色發青。
「下半年旗艦怎麼辦？」
「降規格？」
「你先別說旗艦，能不能按時流片都是問題。」
後排兩個設備企業負責人壓低聲音爭論。
「現在轉低端工藝還來得及。」
「成熟製程也得設備維護。」
「備件卡住，產線一樣疼。」
「那怎麼辦？喊口號？」
「你能把EUV喊出來？」
這句話一落，周圍幾個人都不說話了。
台上另一名專家提到國產替代。
「我們要有信心。」
「只要全產業協同，必然能——」
他自己說到一半，也停了。
會場裡的工程師太多了。
大家不是不愛聽鼓勁。
大家是太懂工程。
差距不是喊兩句口號就能縮短的。
一個高校教授嘆了口氣。
「DUV多重曝光還能硬撐一陣。」
「可越往下走，成本、良率、周期，全會把人拖死。」
「EUV這座山，繞不開。」
就在這時，會場側門忽然打開。
一名主辦方負責人快步走進來，臉色變了又變。
主持人看見他遞來的紙條，手都抖了一下。
「各位。」
「會議臨時調整。」
「請所有媒體記者立即離場。」
「所有手機、錄音設備、智能手錶，統一封存。」
台下瞬間炸鍋。
「怎麼回事？」
「又有新名單？」
「美國追加制裁了？」
「不會是哪個企業被點名了吧？」
主辦方負責人深吸一口氣。
「最高級別通知。」
「許燃總師，臨時到場。」
轟！
整個會場像被一顆雷砸中。
剛才還愁眉苦臉的企業老闆，一下全站了起來。
工程師們伸長脖子往門口看。
幾個老院士互相對視，眼裡壓著驚色。
「許燃？」
「他不是在303所搞燭龍和羲和嗎？」
「他來半導體大會幹什麼？」
「還能幹什麼？救場啊！」
「別亂說，許總也不是神。」
旁邊一個年輕工程師忍不住回嘴：
「祝融電池發布前，你們也說電池不是神。」
「朱雀首飛前，你們也說地面起飛不現實。」
「現在呢？」
那人張了張嘴，沒再接話。
安保動作快得嚇人。
記者被請出場。
手機封存。
外聯切斷。
會場門口，幾名國安人員笑得客氣，手上卻一點都不含糊。
十分鐘後。
側門再次打開。
許燃走進會場。
他穿著黑色夾克，臉上帶著熬夜後的疲憊，眼神卻清醒。
簡瑤跟在他左側，手裡拿著加密終端。
周群站在右側，負責現場鏈路。
許燃手邊，是那隻黑色加密箱。
會場所有人都站了起來。
許燃沒有寒暄。
他走上台，把箱子放到主控桌旁。
第一句話，就把整個會場說懵了。
「EUV這條路，我們不追了。」
有個企業老闆剛站起來，聽見這話，腿一軟，又坐了回去。
一名老專家臉色瞬間發白。
「許總，你這話是什麼意思？」
「EUV不追，高端製程怎麼辦？」
「先進晶片怎麼辦？」
「我們總不能把未來讓出去。」
台下有人急了。
「許總，傳統路線差距是大，可不追不就等於放棄嗎？」
「我們還在攻DUV多重曝光，還在搞國產光刻膠。」
「現在美國封鎖剛落地，你說不追，外面會怎麼解讀？」
許燃抬手，示意他們坐下。
「我說不追，不是不要高端晶片。」
「是不再按他們畫好的路線交學費。」
他點開簡瑤遞來的終端。
主屏亮起。
一張巨大的結構圖展開。
不是光刻機，也不是晶圓產線。
是燭龍底座的一角。
環形光場陣列、負折射物鏡組、原子源控制腔、三維勢阱成像模塊。
每一部分都只露出局部。
可對現場這些半導體老兵來說，已經夠嚇人了。
一個設備廠總師猛地站起來。
「這不是曝光系統！」
周群接話。
「對。」
「它不是用光去刻圖案。」
「它是用光場去擺位置。」
許燃看向台下。
「傳統光刻是什麼？」
「光源、掩膜版、光刻膠、刻蝕、沉積，一層一層往上疊。」
「每一步，都有人能卡你脖子。」
「光源他們卡。」
「物鏡他們卡。」
「光刻膠他們卡。」
「掩膜版他們卡。」
「EDA他們也卡。」
「你越追，就越像在替他們修盤山路。」
「他們守著收費站，你跑得越快，交得越多。」
台下不少人臉色漲紅。
這話扎心。
可扎得准。
許燃指著屏幕上的燭龍底座。
「所以，我們不追收費站。」
「我們換路。」
簡瑤接過話，聲音清亮。
「燭龍路線的核心，是三維原子級勢阱陣列。」
「簡單說，我們不是把圖案刻在材料上。」
「我們先用量子光場建立一組能量位置。」
「目標原子進入後，會被勢阱引導到指定坐標。」
「位置不對，能量不匹配，會被邊界排出去。」
「位置正確，系統鎖定。」
一個高校教授睜大眼。
「原子自組裝？」
許燃點頭。
「更準確地說，是受控原子自組裝。」
周群把下一頁切出來。
「負折射物鏡負責在線診斷。」
「電磁約束負責鎖相。」
「拓撲邊界負責容錯。」
「不用EUV光源。」
「不用掩膜版。」
「不依賴光刻膠。」
台下有人喃喃道：
「繞過EUV？」
「這是把整套光刻邏輯都掀了。」
陳舊的會場音響里，忽然響起幾聲椅子摩擦地面的聲音。
不少人坐不住了。
一名老院士推了推眼鏡，聲音發緊。
「許燃，原子自己站隊，理論上好聽。」
「問題是工程。」
「吞吐量怎麼解決？」
「污染怎麼控制？」
「錯位原子怎麼剔除？」
「互連怎麼做？」
「你不能只給我們看天花板。」
「產業鏈要踩到地板。」
許燃看向他，點了點頭。
「張老問得對。」
「所以今天不是發布概念。」
「是分工。」
會場立刻安靜。
許燃切出三條路線。
「第一，成熟製程繼續穩住。」
「國產DUV、先進封裝、材料替代，該打的仗繼續打。」
「飯碗不能丟。」
「第二，燭龍試驗線專攻原子級邏輯單元和小規模陣列。」
「不要讓傳統晶圓廠硬轉。」
「第三，設備企業、材料企業、檢測企業，全部從『仿製某個環節』，轉向『服務原子製造新環節』。」
「沉積、清洗、真空、原子源、在線診斷、低缺陷封裝。」
「你們不是沒活干。」
「是活變大了。」
台下一個設備企業老闆忍不住問：
「許總，那我們這種做刻蝕設備的呢？」
許燃看了他一眼。
「你們最忙。」
「原子製造不是不要工藝。」
「是工藝精度繼續往下沉。」
「過去你們修的是大路。」
「以後修的是原子級軌道。」
會場裡傳出幾聲低笑。
緊繃的氣氛鬆了些。
另一個企業負責人急忙追問：
「手機晶片怎麼辦？」
「短期靠成熟製程、先進封裝和架構優化頂住。」
「中期等燭龍小規模陣列。」
「長期，由原子製造接管先進節點。」
「美國人今天封鎖，是想讓我們沒刀可用。」
許燃停頓了一下。
「那我們就不跟他們比刀。」
「我們讓材料自己長出刀。」
這句話落下，不少年輕工程師眼睛都紅了。
他們憋了太久。
這麼多年，誰沒受過卡脖子的氣？
許可證到期，要低頭。
設備維護，要排隊。
買個備件，文件能摞半人高。
人家一個郵件，就能讓項目停擺。
今天，美國人把門一關。
許燃卻把牆打開了。
就在這時，主辦方負責人快步上台，在許燃耳邊低聲說了幾句。
周群的終端也彈出紅色提醒。
她抬頭。
「許總，最終禁令追加條款出來了。」
「EDA授權半小時後中止。」
「三家特種氣體供應商宣布停止對華高端訂單。」
「ASML暫停部分維護服務。」
會場剛熱起來的空氣，瞬間又冷下去。
有人罵了一句。
「真下死手啊。」
「這是逼我們停線。」
「半小時後EDA就斷？」
「項目文件還在他們雲端！」
「完了，幾個流片計劃要出事。」
許燃沒有動怒。
他只是低頭，看了一眼黑色加密箱。
「來得正好。」
台下所有人的目光都落到箱子上。
許燃按下掌紋。
簡瑤輸入密鑰。
周群接入離線驗證模塊。
咔噠。
箱蓋打開。
裡面不是一片完整晶圓。
而是一枚被透明隔振托盤托住的指甲蓋大小載片。
載片周圍，嵌著微型冷卻環和四組獨立電極。
屏幕上彈出介紹。
【燭龍—0號原子級邏輯單元】
【製造方式：光場勢阱受控自組裝】
【EUV曝光次數：0】
【掩膜版使用量：0】
【光刻膠使用量：0】
【外部EDA依賴：0】
整個會場炸了。
「實物？」
「已經做出來了？」
「不是說還在底座校準嗎？」
「這才幾天？」
「許總，你們303所是把時間也國產替代了嗎？」
連老院士張懷民都站了起來。
「能工作？」
許燃把隨機數盒遞給他。
「張老，您出題。」
張懷民怔了一下。
「我？」
「您剛才說要踩地板。」
許燃指了指載片。
「地板在這。」
會場裡響起一陣壓低的笑聲。
張懷民接過隨機數盒，按下生成。
一千組隨機布爾運算指令，離線寫入驗證模塊。
所有人盯著主屏。
沒人說話。
一秒。
兩秒。
三秒。
屏幕刷新。
【運算完成】
【校驗結果：1000/1000】
【邏輯門狀態：穩定】
【原子陣列偏移：低於檢測閾值】
嘩！
這一次，掌聲徹底炸開。
幾個企業老闆直接站起來鼓掌。
不少工程師把手掌拍紅了也沒停。
剛才還說減產、囤芯、轉低端的人，此刻眼睛發亮，像被人從水裡拽了出來。
張懷民盯著那枚小小的載片，聲音發啞。
「這不是樣子貨。」
「它真能算。」
許燃合上驗證窗口。
「它還小。」
「離量產還有距離。」
「吞吐量、互連、熱管理、陣列一致性，全都要打。」
「可從今天開始，先進晶片不再由他們說了算。」
他看向全場。
「美國封鎖的是舊路線。」
「我們開的是新路線。」
「誰還想減產、囤芯、轉低端，現在可以把申請撕了。」
台下有人真的低頭，把剛寫了一半的減產方案揉成了團。
旁邊人看見，笑罵：
「你還真撕啊？」
那人眼眶發紅，咧嘴一笑。
「不撕留著過年？」
會場再次笑了起來。
緊張、憋屈、恐慌，被這陣笑聲沖得七零八落。
上午九點。
原本該是熱鬧的產業大會，此刻壓得像戰前動員。
會場外，展板還寫著「國產替代」「先進位造」「協同攻關」。
會場內，所有人的臉都不好看。
美國封鎖令正式文本已經公布。
名單比傳聞更長。
晶片、EDA、光刻設備、精密儀器、特種氣體、高純材料，一刀切下來，連邊角料都不想給華夏留。
台上，一個老專家正在匯報。
「高端光刻機，我們目前最大的短板，仍然是核心物鏡系統。」
「浸沒式光路穩定性不足。」
「雙工件台納米級同步還沒完全打穿。」
「光刻膠、掩膜版、特種氣體、缺陷檢測，也都有瓶頸。」
他說完，台下沒有掌聲。
不是不尊重，是大家心裡都堵。
一個晶圓廠負責人低聲問旁邊人：
「你們庫存還能撐多久？」
「光刻膠四十六天。」
「特氣兩個月。」
「EDA授權呢？」
本書首發 TW 看書網超貼心，𝙨𝙝𝙪.𝙩𝙬等你讀 ,提供給你無錯章節，無亂序章節的閱讀體驗
「最麻煩。」
「美國那邊把雲端許可卡住，我們幾個項目可能要停。」
手機廠代表臉色發青。
「下半年旗艦怎麼辦？」
「降規格？」
「你先別說旗艦，能不能按時流片都是問題。」
後排兩個設備企業負責人壓低聲音爭論。
「現在轉低端工藝還來得及。」
「成熟製程也得設備維護。」
「備件卡住，產線一樣疼。」
「那怎麼辦？喊口號？」
「你能把EUV喊出來？」
這句話一落，周圍幾個人都不說話了。
台上另一名專家提到國產替代。
「我們要有信心。」
「只要全產業協同，必然能——」
他自己說到一半，也停了。
會場裡的工程師太多了。
大家不是不愛聽鼓勁。
大家是太懂工程。
差距不是喊兩句口號就能縮短的。
一個高校教授嘆了口氣。
「DUV多重曝光還能硬撐一陣。」
「可越往下走，成本、良率、周期，全會把人拖死。」
「EUV這座山，繞不開。」
就在這時，會場側門忽然打開。
一名主辦方負責人快步走進來，臉色變了又變。
主持人看見他遞來的紙條，手都抖了一下。
「各位。」
「會議臨時調整。」
「請所有媒體記者立即離場。」
「所有手機、錄音設備、智能手錶，統一封存。」
台下瞬間炸鍋。
「怎麼回事？」
「又有新名單？」
「美國追加制裁了？」
「不會是哪個企業被點名了吧？」
主辦方負責人深吸一口氣。
「最高級別通知。」
「許燃總師，臨時到場。」
轟！
整個會場像被一顆雷砸中。
剛才還愁眉苦臉的企業老闆，一下全站了起來。
工程師們伸長脖子往門口看。
幾個老院士互相對視，眼裡壓著驚色。
「許燃？」
「他不是在303所搞燭龍和羲和嗎？」
「他來半導體大會幹什麼？」
「還能幹什麼？救場啊！」
「別亂說，許總也不是神。」
旁邊一個年輕工程師忍不住回嘴：
「祝融電池發布前，你們也說電池不是神。」
「朱雀首飛前，你們也說地面起飛不現實。」
「現在呢？」
那人張了張嘴，沒再接話。
安保動作快得嚇人。
記者被請出場。
手機封存。
外聯切斷。
會場門口，幾名國安人員笑得客氣，手上卻一點都不含糊。
十分鐘後。
側門再次打開。
許燃走進會場。
他穿著黑色夾克，臉上帶著熬夜後的疲憊，眼神卻清醒。
簡瑤跟在他左側，手裡拿著加密終端。
周群站在右側，負責現場鏈路。
許燃手邊，是那隻黑色加密箱。
會場所有人都站了起來。
許燃沒有寒暄。
他走上台，把箱子放到主控桌旁。
第一句話，就把整個會場說懵了。
「EUV這條路，我們不追了。」
有個企業老闆剛站起來，聽見這話，腿一軟，又坐了回去。
一名老專家臉色瞬間發白。
「許總，你這話是什麼意思？」
「EUV不追，高端製程怎麼辦？」
「先進晶片怎麼辦？」
「我們總不能把未來讓出去。」
台下有人急了。
「許總，傳統路線差距是大，可不追不就等於放棄嗎？」
「我們還在攻DUV多重曝光，還在搞國產光刻膠。」
「現在美國封鎖剛落地，你說不追，外面會怎麼解讀？」
許燃抬手，示意他們坐下。
「我說不追，不是不要高端晶片。」
「是不再按他們畫好的路線交學費。」
他點開簡瑤遞來的終端。
主屏亮起。
一張巨大的結構圖展開。
不是光刻機，也不是晶圓產線。
是燭龍底座的一角。
環形光場陣列、負折射物鏡組、原子源控制腔、三維勢阱成像模塊。
每一部分都只露出局部。
可對現場這些半導體老兵來說，已經夠嚇人了。
一個設備廠總師猛地站起來。
「這不是曝光系統！」
周群接話。
「對。」
「它不是用光去刻圖案。」
「它是用光場去擺位置。」
許燃看向台下。
「傳統光刻是什麼？」
「光源、掩膜版、光刻膠、刻蝕、沉積，一層一層往上疊。」
「每一步，都有人能卡你脖子。」
「光源他們卡。」
「物鏡他們卡。」
「光刻膠他們卡。」
「掩膜版他們卡。」
「EDA他們也卡。」
「你越追，就越像在替他們修盤山路。」
「他們守著收費站，你跑得越快，交得越多。」
台下不少人臉色漲紅。
這話扎心。
可扎得准。
許燃指著屏幕上的燭龍底座。
「所以，我們不追收費站。」
「我們換路。」
簡瑤接過話，聲音清亮。
「燭龍路線的核心，是三維原子級勢阱陣列。」
「簡單說，我們不是把圖案刻在材料上。」
「我們先用量子光場建立一組能量位置。」
「目標原子進入後，會被勢阱引導到指定坐標。」
「位置不對，能量不匹配，會被邊界排出去。」
「位置正確，系統鎖定。」
一個高校教授睜大眼。
「原子自組裝？」
許燃點頭。
「更準確地說，是受控原子自組裝。」
周群把下一頁切出來。
「負折射物鏡負責在線診斷。」
「電磁約束負責鎖相。」
「拓撲邊界負責容錯。」
「不用EUV光源。」
「不用掩膜版。」
「不依賴光刻膠。」
台下有人喃喃道：
「繞過EUV？」
「這是把整套光刻邏輯都掀了。」
陳舊的會場音響里，忽然響起幾聲椅子摩擦地面的聲音。
不少人坐不住了。
一名老院士推了推眼鏡，聲音發緊。
「許燃，原子自己站隊，理論上好聽。」
「問題是工程。」
「吞吐量怎麼解決？」
「污染怎麼控制？」
「錯位原子怎麼剔除？」
「互連怎麼做？」
「你不能只給我們看天花板。」
「產業鏈要踩到地板。」
許燃看向他，點了點頭。
「張老問得對。」
「所以今天不是發布概念。」
「是分工。」
會場立刻安靜。
許燃切出三條路線。
「第一，成熟製程繼續穩住。」
「國產DUV、先進封裝、材料替代，該打的仗繼續打。」
「飯碗不能丟。」
「第二，燭龍試驗線專攻原子級邏輯單元和小規模陣列。」
「不要讓傳統晶圓廠硬轉。」
「第三，設備企業、材料企業、檢測企業，全部從『仿製某個環節』，轉向『服務原子製造新環節』。」
「沉積、清洗、真空、原子源、在線診斷、低缺陷封裝。」
「你們不是沒活干。」
「是活變大了。」
台下一個設備企業老闆忍不住問：
「許總，那我們這種做刻蝕設備的呢？」
許燃看了他一眼。
「你們最忙。」
「原子製造不是不要工藝。」
「是工藝精度繼續往下沉。」
「過去你們修的是大路。」
「以後修的是原子級軌道。」
會場裡傳出幾聲低笑。
緊繃的氣氛鬆了些。
另一個企業負責人急忙追問：
「手機晶片怎麼辦？」
「短期靠成熟製程、先進封裝和架構優化頂住。」
「中期等燭龍小規模陣列。」
「長期，由原子製造接管先進節點。」
「美國人今天封鎖，是想讓我們沒刀可用。」
許燃停頓了一下。
「那我們就不跟他們比刀。」
「我們讓材料自己長出刀。」
這句話落下，不少年輕工程師眼睛都紅了。
他們憋了太久。
這麼多年，誰沒受過卡脖子的氣？
許可證到期，要低頭。
設備維護，要排隊。
買個備件，文件能摞半人高。
人家一個郵件，就能讓項目停擺。
今天，美國人把門一關。
許燃卻把牆打開了。
就在這時，主辦方負責人快步上台，在許燃耳邊低聲說了幾句。
周群的終端也彈出紅色提醒。
她抬頭。
「許總，最終禁令追加條款出來了。」
「EDA授權半小時後中止。」
「三家特種氣體供應商宣布停止對華高端訂單。」
「ASML暫停部分維護服務。」
會場剛熱起來的空氣，瞬間又冷下去。
有人罵了一句。
「真下死手啊。」
「這是逼我們停線。」
「半小時後EDA就斷？」
「項目文件還在他們雲端！」
「完了，幾個流片計劃要出事。」
許燃沒有動怒。
他只是低頭，看了一眼黑色加密箱。
「來得正好。」
台下所有人的目光都落到箱子上。
許燃按下掌紋。
簡瑤輸入密鑰。
周群接入離線驗證模塊。
咔噠。
箱蓋打開。
裡面不是一片完整晶圓。
而是一枚被透明隔振托盤托住的指甲蓋大小載片。
載片周圍，嵌著微型冷卻環和四組獨立電極。
屏幕上彈出介紹。
【燭龍—0號原子級邏輯單元】
【製造方式：光場勢阱受控自組裝】
【EUV曝光次數：0】
【掩膜版使用量：0】
【光刻膠使用量：0】
【外部EDA依賴：0】
整個會場炸了。
「實物？」
「已經做出來了？」
「不是說還在底座校準嗎？」
「這才幾天？」
「許總，你們303所是把時間也國產替代了嗎？」
連老院士張懷民都站了起來。
「能工作？」
許燃把隨機數盒遞給他。
「張老，您出題。」
張懷民怔了一下。
「我？」
「您剛才說要踩地板。」
許燃指了指載片。
「地板在這。」
會場裡響起一陣壓低的笑聲。
張懷民接過隨機數盒，按下生成。
一千組隨機布爾運算指令，離線寫入驗證模塊。
所有人盯著主屏。
沒人說話。
一秒。
兩秒。
三秒。
屏幕刷新。
【運算完成】
【校驗結果：1000/1000】
【邏輯門狀態：穩定】
【原子陣列偏移：低於檢測閾值】
嘩！
這一次，掌聲徹底炸開。
幾個企業老闆直接站起來鼓掌。
不少工程師把手掌拍紅了也沒停。
剛才還說減產、囤芯、轉低端的人，此刻眼睛發亮，像被人從水裡拽了出來。
張懷民盯著那枚小小的載片，聲音發啞。
「這不是樣子貨。」
「它真能算。」
許燃合上驗證窗口。
「它還小。」
「離量產還有距離。」
「吞吐量、互連、熱管理、陣列一致性，全都要打。」
「可從今天開始，先進晶片不再由他們說了算。」
他看向全場。
「美國封鎖的是舊路線。」
「我們開的是新路線。」
「誰還想減產、囤芯、轉低端，現在可以把申請撕了。」
台下有人真的低頭，把剛寫了一半的減產方案揉成了團。
旁邊人看見，笑罵：
「你還真撕啊？」
那人眼眶發紅，咧嘴一笑。
「不撕留著過年？」
會場再次笑了起來。
緊張、憋屈、恐慌，被這陣笑聲沖得七零八落。