第530章 L-5晶片落成
好半晌後，筆觸的聲音停下。
眾人眼中閃過期待，面對這延遲的問題，幾人作為各小組的領導者在這頭腦風暴了有好幾日。
尤其是最近兩天，更是熬了個通宵。
「邵文同志，你們討論的方向沒錯。」
「這裡的時鐘樹綜合不要採用傳統的對稱結構，具體的可以用用這個非對稱的緩衝器插入法。」
沈永健把修改好的大致圖紙遞過去，繼續解釋道。
「同時整個電源網格的線寬在關鍵路徑上增加百分之十五，利用邊緣電容效應來抵消延遲。」
「這樣既能解決信號衝突，又不會大幅增加整體晶片的面積。」
卓邵文拿過圖紙一看，心中對於沈永健的解決能力並不懷疑。
唯一訝異的，還是沈永健的效率，哪怕已感受過無數次，當下也還是覺得驚訝。
裡頭的設計方案思路方向就是他們目前討論的。
只是沈工直接在短時間內，將思路對應的修改方案完成，並且還對他們整個方向上的連帶調整內容也做了詳細補充。
屋內其餘幾人也相互傳遞圖紙思索，眼神很快發亮，心中釋然。
「行了！讓同志們按我這調整的重畫一版方案交給仿真組測試。」
「要是沒問題話，儘快進行流片，正好測測新光刻機的性能。」
「我還有一些新的設計，可還等著這款新晶片呢！」
大規模集成電路，沈永健的確十分期待。
當下熊貓牌的台式計算機，雖然在國際上被稱為「個人計算機」的開端，但對沈永健來說還是差了些。
有了新晶片，計算機性能能提升，機身還能繼續縮小，真正打開個人計算機的領域。
同時半導體的存儲器也可以進一步推進。
「你們待會兒也回去好好休息，等待之後正式的流片工作。」
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話音落下，整個辦公室眾人立刻忙碌起來。
大實驗室內，眾人對於卓所長風風火火的走進早已見怪不怪。
在見其眼中興奮的光芒，一時間也都知曉定是原先的問題有了突破。
在接到其手中的圖紙思路，以及任務分配後，大實驗室內的團隊眾人，立刻忙碌起來。
其他各個研製小組也井然有序地配合著研製工作。
當天晚上九點，新一版的圖紙便由眾人加急繪製完成。
仿真組的同志，約莫在晚上十一點左右才將整個圖紙錄入計算機，隨即進行仿真測試。
結果不出意外，仿真順利通過。
整個研究所便進入了流片的正式工作中。
……
幾日後，微電子廠嶄新的微電中心。
新四車間內，原本的L-4生產任務暫停，轉由其他車間進行生產。
陳工親自在車間內進行協調，以迎接微電子所眾人的流片試製。
如今整個晶片研製過程也越來越偏向後世。
早期的晶片流片還在微電子所的實驗室內。
如今因為最新的步進掃描光刻機在微電子廠內，流片工作也協調後在廠里進行。
一如後世真正的晶片工程那般，研究所或者大公司只負責設計與仿真，真正的流片與排期生產則交由工廠。
專用的精密空調和空氣系統已提前開啟。
沈永健、卓邵文以及幾位核心骨幹同志已穿戴上嚴密的防塵服，站在龐大的步進掃描光刻機前。
「掩模版和測試矽片都已經準備就緒。」
陳工帶著身後的錢田寶以及曹俊走近。
這次流片的前期準備工作，都是由錢田寶與曹俊二人負責。
二人臉上有些激動和興奮，哪怕廠里光刻生產早已習慣，但像這種光刻的流片還是第一次。
且按照陳工前幾天交代的，這次要是流片能成，之後微電子所的晶片方案流片都會陸續交由他們工廠負責。
「開始吧。」
沈永健透過防塵面罩，注視向錢田寶。
流片日後預備交給工廠，這次則由他親自帶錢田寶二人進行工作。
錢田寶點了點頭，在主控台上輸入了確認指令。
「晶圓傳送開始。」
整台光刻機正式啟動，隨著機械結構的響動，一片塗覆著光刻膠的測試矽片被平穩地送入光刻機的真空腔室。
車間內特殊的黃光亮起，以防止光刻膠提前曝光，屋內空氣機組的過濾單元傳來極其微弱的白噪音。
「對準系統啟動，雷射干涉儀鎖定。」
曹俊緊盯著屏幕上的數據。
屏幕上，十字對準標記在多次校準後最終完美重合。
「曝光開始。」
龐大的步進掃描光刻機內部，深紫外光源瞬間激發。
掩模台與矽片台在雷射干涉儀的精準控制下，再次開始了平滑的同步反向掃描移動。
「第一曝光場完成，步進至下一場…」
卓邵文當下也忍不住走近，目光盯向屏幕上不斷刷新的精度數據。
好在各項數值都在預期之中，甚至比原先完成時表現得還要優秀。
「光刻環節順利。」
當最後一片測試晶圓完成曝光並被傳出時，眾人不約而同地鬆了一口氣。
當然，這只是流片的第一步。
接下來，黃光區的光刻，顯影，刻蝕區等等，需要的工序可不少。
畢竟是從頭開始的流程，並非當天能完成看到結果。
晶圓在各大設備間流轉，表面的電路結構從平面的光刻膠圖案，逐漸變成了立體與錯綜複雜。
終於，在歷經了上百道複雜工序後，第一批L-5晶片測試晶圓被送入了劃片與封裝測試區。
「開始晶圓級探針測試。」
…
「加電，測試時鐘樹和電源管理模塊。」
測試台前，卓邵文親自操作著測試儀器，手心已經微微出汗。
原先游移不定的模塊，最終按沈永健親自修改的非對稱緩衝器插入法設計，如今便能看到實際的成果。
示波器上，綠色的波形開始跳動。
「時鐘信號延遲…3.2納秒！」
看著大機器內嵌屏幕上顯現的數字，卓邵文瞬間激動起來。
之後還有一系列常規的測試矩陣。
這批流片的晶圓數目多了些，畢竟第一次帶錢田寶二人，多做了幾輪操作。
「沈工，首批測試晶圓共包含300顆裸晶，有效點亮並達到設計頻率的…共237顆！」
「綜合良品率達79%！」
…
「呼~！」
微電子所前來的眾人當即都輕呼了口氣。
曹俊同樣眼神驚異，這幾日不間斷的流程下來，他成長學習得很快不假，但很多還是有些摸不清狀況。
暫時只能記在筆記本內，以待之後再跟自己師傅錢工討論。
唯獨這良品率，他是真有概念。
畢竟L-4晶片初期量產的良品率還不到70%。
而這新一代L-5的晶片，集成度達超10000顆電晶體，超原先一倍多的數量，但當下的良品率就已經接近80%，這可是難得的成功！
眾人眼中閃過期待，面對這延遲的問題，幾人作為各小組的領導者在這頭腦風暴了有好幾日。
尤其是最近兩天，更是熬了個通宵。
「邵文同志，你們討論的方向沒錯。」
「這裡的時鐘樹綜合不要採用傳統的對稱結構，具體的可以用用這個非對稱的緩衝器插入法。」
沈永健把修改好的大致圖紙遞過去，繼續解釋道。
「同時整個電源網格的線寬在關鍵路徑上增加百分之十五，利用邊緣電容效應來抵消延遲。」
「這樣既能解決信號衝突，又不會大幅增加整體晶片的面積。」
卓邵文拿過圖紙一看，心中對於沈永健的解決能力並不懷疑。
唯一訝異的，還是沈永健的效率，哪怕已感受過無數次，當下也還是覺得驚訝。
裡頭的設計方案思路方向就是他們目前討論的。
只是沈工直接在短時間內，將思路對應的修改方案完成，並且還對他們整個方向上的連帶調整內容也做了詳細補充。
屋內其餘幾人也相互傳遞圖紙思索，眼神很快發亮，心中釋然。
「行了！讓同志們按我這調整的重畫一版方案交給仿真組測試。」
「要是沒問題話，儘快進行流片，正好測測新光刻機的性能。」
「我還有一些新的設計，可還等著這款新晶片呢！」
大規模集成電路，沈永健的確十分期待。
當下熊貓牌的台式計算機，雖然在國際上被稱為「個人計算機」的開端，但對沈永健來說還是差了些。
有了新晶片，計算機性能能提升，機身還能繼續縮小，真正打開個人計算機的領域。
同時半導體的存儲器也可以進一步推進。
「你們待會兒也回去好好休息，等待之後正式的流片工作。」
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話音落下，整個辦公室眾人立刻忙碌起來。
大實驗室內，眾人對於卓所長風風火火的走進早已見怪不怪。
在見其眼中興奮的光芒，一時間也都知曉定是原先的問題有了突破。
在接到其手中的圖紙思路，以及任務分配後，大實驗室內的團隊眾人，立刻忙碌起來。
其他各個研製小組也井然有序地配合著研製工作。
當天晚上九點，新一版的圖紙便由眾人加急繪製完成。
仿真組的同志，約莫在晚上十一點左右才將整個圖紙錄入計算機，隨即進行仿真測試。
結果不出意外，仿真順利通過。
整個研究所便進入了流片的正式工作中。
……
幾日後，微電子廠嶄新的微電中心。
新四車間內，原本的L-4生產任務暫停，轉由其他車間進行生產。
陳工親自在車間內進行協調，以迎接微電子所眾人的流片試製。
如今整個晶片研製過程也越來越偏向後世。
早期的晶片流片還在微電子所的實驗室內。
如今因為最新的步進掃描光刻機在微電子廠內，流片工作也協調後在廠里進行。
一如後世真正的晶片工程那般，研究所或者大公司只負責設計與仿真，真正的流片與排期生產則交由工廠。
專用的精密空調和空氣系統已提前開啟。
沈永健、卓邵文以及幾位核心骨幹同志已穿戴上嚴密的防塵服，站在龐大的步進掃描光刻機前。
「掩模版和測試矽片都已經準備就緒。」
陳工帶著身後的錢田寶以及曹俊走近。
這次流片的前期準備工作，都是由錢田寶與曹俊二人負責。
二人臉上有些激動和興奮，哪怕廠里光刻生產早已習慣，但像這種光刻的流片還是第一次。
且按照陳工前幾天交代的，這次要是流片能成，之後微電子所的晶片方案流片都會陸續交由他們工廠負責。
「開始吧。」
沈永健透過防塵面罩，注視向錢田寶。
流片日後預備交給工廠，這次則由他親自帶錢田寶二人進行工作。
錢田寶點了點頭，在主控台上輸入了確認指令。
「晶圓傳送開始。」
整台光刻機正式啟動，隨著機械結構的響動，一片塗覆著光刻膠的測試矽片被平穩地送入光刻機的真空腔室。
車間內特殊的黃光亮起，以防止光刻膠提前曝光，屋內空氣機組的過濾單元傳來極其微弱的白噪音。
「對準系統啟動，雷射干涉儀鎖定。」
曹俊緊盯著屏幕上的數據。
屏幕上，十字對準標記在多次校準後最終完美重合。
「曝光開始。」
龐大的步進掃描光刻機內部，深紫外光源瞬間激發。
掩模台與矽片台在雷射干涉儀的精準控制下，再次開始了平滑的同步反向掃描移動。
「第一曝光場完成，步進至下一場…」
卓邵文當下也忍不住走近，目光盯向屏幕上不斷刷新的精度數據。
好在各項數值都在預期之中，甚至比原先完成時表現得還要優秀。
「光刻環節順利。」
當最後一片測試晶圓完成曝光並被傳出時，眾人不約而同地鬆了一口氣。
當然，這只是流片的第一步。
接下來，黃光區的光刻，顯影，刻蝕區等等，需要的工序可不少。
畢竟是從頭開始的流程，並非當天能完成看到結果。
晶圓在各大設備間流轉，表面的電路結構從平面的光刻膠圖案，逐漸變成了立體與錯綜複雜。
終於，在歷經了上百道複雜工序後，第一批L-5晶片測試晶圓被送入了劃片與封裝測試區。
「開始晶圓級探針測試。」
…
「加電，測試時鐘樹和電源管理模塊。」
測試台前，卓邵文親自操作著測試儀器，手心已經微微出汗。
原先游移不定的模塊，最終按沈永健親自修改的非對稱緩衝器插入法設計，如今便能看到實際的成果。
示波器上，綠色的波形開始跳動。
「時鐘信號延遲…3.2納秒！」
看著大機器內嵌屏幕上顯現的數字，卓邵文瞬間激動起來。
之後還有一系列常規的測試矩陣。
這批流片的晶圓數目多了些，畢竟第一次帶錢田寶二人，多做了幾輪操作。
「沈工，首批測試晶圓共包含300顆裸晶，有效點亮並達到設計頻率的…共237顆！」
「綜合良品率達79%！」
…
「呼~！」
微電子所前來的眾人當即都輕呼了口氣。
曹俊同樣眼神驚異，這幾日不間斷的流程下來，他成長學習得很快不假，但很多還是有些摸不清狀況。
暫時只能記在筆記本內，以待之後再跟自己師傅錢工討論。
唯獨這良品率，他是真有概念。
畢竟L-4晶片初期量產的良品率還不到70%。
而這新一代L-5的晶片，集成度達超10000顆電晶體，超原先一倍多的數量，但當下的良品率就已經接近80%，這可是難得的成功！